公开(公告)号：CN102834952A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201080059975.1

申请日：2010-11-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： R·Z·巴克拉克 ,  S·D·洛帕丁 ,  王品今 ,  多纳德·J·K·欧盖杜

IPC: H01M4/02 ,  H01M4/64 ,  H01M4/04 ,  H01G9/04 ,  H01M10/0525

CPC classification number: H01M4/70 ,  H01M4/134 ,  H01M4/139 ,  H01M4/485 ,  H01M4/505 ,  H01M4/525 ,  H01M4/5825 ,  H01M4/587 ,  H01M4/661

Abstract: 本发明实施例预期利用薄膜或层沉积处理以及其它形成电化学装置与装置部件的相关方法来形成电化学装置与装置部件，电化学装置与装置部件诸如电池单元或超级电容。在一实施例中，提供电池双层单元。电池双层单元包括：阳极结构，阳极结构包括导电集电基板、多个通过包括多个柱状凸出物的导电微结构形成于导电集电基板上的穴部以及沉积于多个穴部内部与上方的阳极活性粉末；绝缘隔离物层，绝缘隔离物层形成于多个穴部上；及阴极结构，阴极结构接合于绝缘隔离物上。

公开(公告)号：CN102498556A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201080040865.0

申请日：2010-09-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 石川哲也 ,  L·L·庞 ,  Q·D·帕姆 ,  多纳德·J·K·欧盖杜

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J15/00 ,  H05B3/02

CPC classification number: H01L21/67196 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明实施例提供一种用于在传送期间加热一或多个基板的设备及方法。一实施例提供一种机械臂叶片组件，用于支撑设置于机械臂叶片组件上的基板或基板载体。该机械臂叶片组件包含：底板；感应加热组件，设置于该底板上；及顶板，设置于该感应加热组件上方。另一实施例提供一种感应加热组件，设置于传送腔室上方，该传送腔室具有基板传送机构设置于该传送腔室内。

公开(公告)号：CN102834952B

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201080059975.1

申请日：2010-11-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： R·Z·巴克拉克 ,  S·D·洛帕丁 ,  王品今 ,  多纳德·J·K·欧盖杜

IPC: H01M4/02 ,  H01M4/64 ,  H01M4/04 ,  H01G9/04 ,  H01M10/0525

CPC classification number: H01M4/70 ,  H01M4/134 ,  H01M4/139 ,  H01M4/485 ,  H01M4/505 ,  H01M4/525 ,  H01M4/5825 ,  H01M4/587 ,  H01M4/661

Abstract: 本发明实施例预期利用薄膜或层沉积处理以及其它形成电化学装置与装置部件的相关方法来形成电化学装置与装置部件，电化学装置与装置部件诸如电池单元或超级电容。在一实施例中，提供电池双层单元。电池双层单元包括：阳极结构，阳极结构包括导电集电基板、多个通过包括多个柱状凸出物的导电微结构形成于导电集电基板上的穴部以及沉积于多个穴部内部与上方的阳极活性粉末；绝缘隔离物层，绝缘隔离物层形成于多个穴部上；及阴极结构，阴极结构接合于绝缘隔离物上。