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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113169044B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN201980082795.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了用于在高度共线响应空间中的规范性分析的方法、系统和非瞬态计算机可读介质。方法包括：接收与制造设备的制造参数相关的膜性质数据。方法进一步包括：确定膜性质数据是相关的并且与目标数据不同。方法进一步包括：选择与目标数据正交的膜性质数据的一组数据点。方法进一步包括：对此组数据点执行特征提取。方法进一步包括：基于特征提取确定对一个或多个制造参数的更新以满足目标数据。
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公开(公告)号：CN115485702A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180032652.1
申请日：2021-05-20
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文中公开了用于执行预测建模以识别用于制造工艺的输入的技术。示例方法可以包括以下步骤：接收用于制造工艺的预期输出数据，其中该预期输出数据定义该制造工艺的输出的属性；访问对该制造工艺进行建模的多个机器学习模型；使用第一机器学习模型基于用于该制造工艺的该预期输出数据来确定用于该制造工艺的输入数据，其中该输入数据包括第一输入的值及第二输入的值；将使用该第一机器学习模型所确定的该输入数据与使用该第二机器学习模型所确定的输入数据组合在一起，以产生用于该制造工艺的一组输入，其中该组输入包括该第一输入的候选值及该第二输入的候选值。
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公开(公告)号：CN120068655A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510236342.1
申请日：2019-12-11
Applicant: 应用材料公司
IPC: G06F30/27 , H01L21/66 , H01L21/67 , G06F18/213 , G06F18/214 , G06F18/21
Abstract: 描述了用于在高度共线响应空间中的规范性分析的方法、系统和非瞬态计算机可读介质。方法包括：接收与制造设备的制造参数相关的膜性质数据。方法进一步包括：确定膜性质数据是相关的并且与目标数据不同。方法进一步包括：选择与目标数据正交的膜性质数据的一组数据点。方法进一步包括：对此组数据点执行特征提取。方法进一步包括：基于特征提取确定对一个或多个制造参数的更新以满足目标数据。
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公开(公告)号：CN113169044A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980082795.6
申请日：2019-12-11
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了用于在高度共线响应空间中的规范性分析的方法、系统和非瞬态计算机可读介质。方法包括：接收与制造设备的制造参数相关的膜性质数据。方法进一步包括：确定膜性质数据是相关的并且与目标数据不同。方法进一步包括：选择与目标数据正交的膜性质数据的一组数据点。方法进一步包括：对此组数据点执行特征提取。方法进一步包括：基于特征提取确定对一个或多个制造参数的更新以满足目标数据。
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公开(公告)号：CN120068652A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510234260.3
申请日：2019-12-11
Applicant: 应用材料公司
IPC: G06F30/27 , H01L21/66 , H01L21/67 , G06F18/213 , G06F18/214 , G06F18/21
Abstract: 描述了用于在高度共线响应空间中的规范性分析的方法、系统和非瞬态计算机可读介质。方法包括：接收与制造设备的制造参数相关的膜性质数据。方法进一步包括：确定膜性质数据是相关的并且与目标数据不同。方法进一步包括：选择与目标数据正交的膜性质数据的一组数据点。方法进一步包括：对此组数据点执行特征提取。方法进一步包括：基于特征提取确定对一个或多个制造参数的更新以满足目标数据。
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