公开(公告)号：CN103849919A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310625196.9

申请日：2013-11-28

申请人： 应用材料公司

发明人： 丹尼尔·J·伍德拉夫

IPC分类号： C25D17/00

CPC分类号： C25D17/001 ,  C25D17/002

摘要： 本发明提供一种电镀处理器，所述电镀处理器包括用于支撑隔膜的薄下部隔膜支撑件。下部隔膜支撑件可以被提供为具有通过开口图案的柔性塑料板。通过开口可以与刚性上部隔膜支撑件中的开口对准。下部隔膜的周边可被夹紧在与用于夹紧和密封隔膜周边相同的周边密封中。下部隔膜支撑件支撑隔膜而不显著地增加处理器的总高度。处理器可被堆叠在双层处理系统中而不需要额外的清洗室空间。

公开(公告)号：CN107419320A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201611114198.1

申请日：2013-04-23

申请人： 应用材料公司

发明人： 兰迪·A·哈里斯 ,  丹尼尔·J·伍德拉夫 ,  杰弗里·I·特纳 ,  格雷戈里·J·威尔逊 ,  保罗·R·麦克休

IPC分类号： C25D17/00 ,  H01L21/288

CPC分类号： C25D17/12 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  H01L21/288

摘要： 一种电镀处理器包括电极板，该电极板具有在通道内形成的连续流动路径。流动路径可视情况为盘绕形流动路径。一或更多个电极定位于通道内。薄膜板附接于电极板，两者之间具有薄膜。电解液高速穿过流动路径，防止气泡粘住薄膜的底表面。流动路径内的任何气泡均挟带在快速移动的电解液中，且从薄膜处带走。或者，电镀处理器可具有延伸穿过管状薄膜的电极线，该管状薄膜形成盘绕状或其他形状，视情况包括具有直线段的形状。

公开(公告)号：CN104272435A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380023050.5

申请日：2013-04-23

申请人： 应用材料公司

发明人： 兰迪·A·哈里斯 ,  丹尼尔·J·伍德拉夫 ,  杰弗里·I·特纳 ,  格雷戈里·J·威尔逊 ,  保罗·R·麦克休

IPC分类号： H01L21/288 ,  C25D17/02

CPC分类号： C25D17/12 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  C25D17/02

摘要： 一种电镀处理器包括电极板，该电极板具有在通道内形成的连续流动路径。流动路径可视情况为盘绕形流动路径。一或更多个电极定位于通道内。薄膜板附接于电极板，两者之间具有薄膜。电解液高速穿过流动路径，防止气泡粘住薄膜的底表面。流动路径内的任何气泡均挟带在快速移动的电解液中，且从薄膜处带走。或者，电镀处理器可具有延伸穿过管状薄膜的电极线，该管状薄膜形成盘绕状或其他形状，视情况包括具有直线段的形状。

公开(公告)号：CN106191975B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201610352939.3

申请日：2016-05-25

申请人： 应用材料公司

发明人： 丹尼尔·J·伍德拉夫 ,  格雷戈里·J·威尔逊 ,  保罗·R·麦克休

IPC分类号： C25D19/00 ,  C25D17/10 ,  C25D7/12

CPC分类号： C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  C25D17/008 ,  C25D21/10

摘要： 一种电镀处理器，所述电镀处理器包括基部，所述基部具有容器主体。包括隔膜壳的隔膜组件附接到隔膜板。隔膜提供在附接到所述隔膜壳的隔膜支撑件上。阳极组件包括阳极杯以及位于所述阳极杯中的一个或更多个阳极。阳极板被附接到所述阳极杯。位于所述阳极板的第一侧上的两个或更多个支柱能够与位于所述隔膜板上的支柱配件接合。位于所述阳极板的第二侧上的夹持件能够与位于所述隔膜板上的夹持件配件接合和从其中释放。所述阳极组件能够快速且容易地从所述处理器去除以便进行维护，而不干扰所述处理器的其他部件或将这些部件去除。

公开(公告)号：CN103857834B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201280048276.6

申请日：2012-08-24

申请人： 应用材料公司

发明人： 丹尼尔·J·伍德拉夫

IPC分类号： C25D21/08 ,  C25D7/12

CPC分类号： C25D17/001 ,  C25D17/004 ,  C25D21/08

摘要： 一种电镀设备，包括用于容纳一槽的电镀液的容器。头部适于在容器内保持工件（诸如硅晶片），在头部上具有密封件以对工件进行密封。部件清洁器组件可用于自动清洁电镀设备的部件（诸如密封件或接触环）。清洁器组件在臂上具有部件接触器（诸如刷子）。臂致动器与臂连接，用于将臂从缩回位置移动至展开位置，其中接触器与部件物理接触。用于清洁电镀设备的部件的方法包括移动洗涤器或接触器来与部件接触，以及将清洁液施加至邻近于接触器的部件上。当部件与接触器接触时，部件旋转。至少一些使用过的清洁液被收集。

公开(公告)号：CN103857834A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201280048276.6

申请日：2012-08-24

申请人： 应用材料公司

发明人： 丹尼尔·J·伍德拉夫

IPC分类号： C25D21/08 ,  C25D7/12

CPC分类号： C25D17/001 ,  C25D17/004 ,  C25D21/08

摘要： 一种电镀设备，包括用于容纳一槽的电镀液的容器。头部适于在容器内保持工件（诸如硅晶片），在头部上具有密封件以对工件进行密封。部件清洁器组件可用于自动清洁电镀设备的部件（诸如密封件或接触环）。清洁器组件在臂上具有部件接触器（诸如刷子）。臂致动器与臂连接，用于将臂从缩回位置移动至展开位置，其中接触器与部件物理接触。用于清洁电镀设备的部件的方法包括移动洗涤器或接触器来与部件接触，以及将清洁液施加至邻近于接触器的部件上。当部件与接触器接触时，部件旋转。至少一些使用过的清洁液被收集。

公开(公告)号：CN107419320B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201611114198.1

申请日：2013-04-23

申请人： 应用材料公司

发明人： 兰迪·A·哈里斯 ,  丹尼尔·J·伍德拉夫 ,  杰弗里·I·特纳 ,  格雷戈里·J·威尔逊 ,  保罗·R·麦克休

IPC分类号： C25D17/00 ,  H01L21/288

CPC分类号： C25D17/12 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002

摘要： 一种电镀处理器包括电极板，该电极板具有在通道内形成的连续流动路径。流动路径可视情况为盘绕形流动路径。一或更多个电极定位于通道内。薄膜板附接于电极板，两者之间具有薄膜。电解液高速穿过流动路径，防止气泡粘住薄膜的底表面。流动路径内的任何气泡均挟带在快速移动的电解液中，且从薄膜处带走。或者，电镀处理器可具有延伸穿过管状薄膜的电极线，该管状薄膜形成盘绕状或其他形状，视情况包括具有直线段的形状。

公开(公告)号：CN104272435B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201380023050.5

申请日：2013-04-23

申请人： 应用材料公司

发明人： 兰迪·A·哈里斯 ,  丹尼尔·J·伍德拉夫 ,  杰弗里·I·特纳 ,  格雷戈里·J·威尔逊 ,  保罗·R·麦克休

IPC分类号： H01L21/288 ,  C25D17/02

CPC分类号： C25D17/12 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002

摘要： 一种电镀处理器包括电极板，该电极板具有在通道内形成的连续流动路径。流动路径可视情况为盘绕形流动路径。一或更多个电极定位于通道内。薄膜板附接于电极板，两者之间具有薄膜。电解液高速穿过流动路径，防止气泡粘住薄膜的底表面。流动路径内的任何气泡均挟带在快速移动的电解液中，且从薄膜处带走。或者，电镀处理器可具有延伸穿过管状薄膜的电极线，该管状薄膜形成盘绕状或其他形状，视情况包括具有直线段的形状。

公开(公告)号：CN106191975A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610352939.3

申请日：2016-05-25

申请人： 应用材料公司

发明人： 丹尼尔·J·伍德拉夫 ,  格雷戈里·J·威尔逊 ,  保罗·R·麦克休

IPC分类号： C25D19/00 ,  C25D17/10 ,  C25D7/12

CPC分类号： C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  C25D17/008 ,  C25D21/10 ,  C25D17/10 ,  C25D7/12

摘要： 一种电镀处理器，所述电镀处理器包括基部，所述基部具有容器主体。包括隔膜壳的隔膜组件附接到隔膜板。隔膜提供在附接到所述隔膜壳的隔膜支撑件上。阳极组件包括阳极杯以及位于所述阳极杯中的一个或更多个阳极。阳极板被附接到所述阳极杯。位于所述阳极板的第一侧上的两个或更多个支柱能够与位于所述隔膜板上的支柱配件接合。位于所述阳极板的第二侧上的夹持件能够与位于所述隔膜板上的夹持件配件接合和从其中释放。所述阳极组件能够快速且容易地从所述处理器去除以便进行维护，而不干扰所述处理器的其他部件或将这些部件去除。

公开(公告)号：CN205741267U

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201620483294.2

申请日：2016-05-25

申请人： 应用材料公司

发明人： 丹尼尔·J·伍德拉夫 ,  格雷戈里·J·威尔逊 ,  保罗·R·麦克休

IPC分类号： C25D19/00 ,  C25D17/10

CPC分类号： C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  C25D17/008 ,  C25D21/10

摘要： 一种电镀设备，所述电镀设备包括基部，所述基部具有容器主体。包括隔膜壳的隔膜组件附接到隔膜板。隔膜提供在附接到所述隔膜壳的隔膜支撑件上。阳极组件包括阳极杯以及位于所述阳极杯中的一个或更多个阳极。阳极板被附接到所述阳极杯。位于所述阳极板的第一侧上的两个或更多个支柱能够与位于所述隔膜板上的支柱配件接合。位于所述阳极板的第二侧上的夹持件能够与位于所述隔膜板上的夹持件配件接合和从其中释放。所述阳极组件能够快速且容易地从所述处理器去除以便进行维护，而不干扰所述处理器的其他部件或将这些部件去除。