一种电镀设备，包括用于容纳一槽的电镀液的容器。头部适于在容器内保持工件（诸如硅晶片），在头部上具有密封件以对工件进行密封。部件清洁器组件可用于自动清洁电镀设备的部件（诸如密封件或接触环）。清洁器组件在臂上具有部件接触器（诸如刷子）。臂致动器与臂连接，用于将臂从缩回位置移动至展开位置，其中接触器与部件物理接触。用于清洁电镀设备的部件的方法包括移动洗涤器或接触器来与部件接触，以及将清洁液施加至邻近于接触器的部件上。当部件与接触器接触时，部件旋转。至少一些使用过的清洁液被收集。