发明公开
CN104272435A 具有几何电解液流动路径的电镀处理器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 具有几何电解液流动路径的电镀处理器
- 专利标题(英): Electroplating processor with geometric electrolyte flow path
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申请号: CN201380023050.5申请日: 2013-04-23
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公开(公告)号: CN104272435A公开(公告)日: 2015-01-07
- 发明人: 兰迪·A·哈里斯 , 丹尼尔·J·伍德拉夫 , 杰弗里·I·特纳 , 格雷戈里·J·威尔逊 , 保罗·R·麦克休
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权: 13/468,273 2012.05.10 US
- 国际申请: PCT/US2013/037844 2013.04.23
- 国际公布: WO2013/169477 EN 2013.11.14
- 进入国家日期: 2014-10-31
- 主分类号: H01L21/288
- IPC分类号: H01L21/288 ; C25D17/02
摘要:
一种电镀处理器包括电极板,该电极板具有在通道内形成的连续流动路径。流动路径可视情况为盘绕形流动路径。一或更多个电极定位于通道内。薄膜板附接于电极板,两者之间具有薄膜。电解液高速穿过流动路径,防止气泡粘住薄膜的底表面。流动路径内的任何气泡均挟带在快速移动的电解液中,且从薄膜处带走。或者,电镀处理器可具有延伸穿过管状薄膜的电极线,该管状薄膜形成盘绕状或其他形状,视情况包括具有直线段的形状。
公开/授权文献
- CN104272435B 具有几何电解液流动路径的电镀处理器 公开/授权日:2016-12-28
IPC分类: