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公开(公告)号：CN118019232A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410420427.0
申请日：2024-04-09
申请人： 广州市巨龙印制板设备有限公司
IPC分类号： H05K3/06
摘要： 本发明属于线路板制造技术领域，公开了一种具有回收雾化的电路板二流体喷淋装置，包括显影蚀刻处理室、冷凝回收机构，冷凝回收机构包括：控制器模块；抽风冷凝模块，与控制器模块电性相连，用于抽取显影蚀刻处理室中的空气，对抽取的空气进行冷凝，回收并排出冷凝液；压缩气体流量检测模块，与控制器模块电性相连，用于检测输入二流体喷嘴的压缩气体的输入流量Q1，并将检测值传递给控制器模块；排气流量监测模块，与控制器模块电性相连，用于检测抽风冷凝模块的排气流量Q2，并将检测值传递给控制器模块；控制器模块对比流量输入流量Q1和排气流量Q2，根据对比结果调节抽风冷凝模块的抽风量，使得排气流量Q2大于流量Q1，且Q2：Q1在1.05:1至1.15:1之间。
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公开(公告)号：CN117772462A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311811512.1
申请日：2023-12-26
申请人： 广州市巨龙印制板设备有限公司
IPC分类号： B05B13/02
摘要： 本申请公开了一种精密喷淋模组，其包括喷淋管、供药装置以及若干个喷嘴，所述喷淋管沿工件的输送通道方向曲折延伸；所述供药装置与喷淋管的液体入口连通，所述供药装置用于将药液输送至喷淋管内；若干所述喷嘴对称分布于喷淋管各弯折点的两侧以及喷淋管端部的两侧，以穿过所述喷嘴的喷雾覆盖面中心且与工件输送通道长度方向平行的直线作为分割线，若干喷嘴对应的分割线将工件的输送通道切分为若干等分，在工件穿过输送通道的过程中，若干喷嘴的喷雾覆盖面在工件表面上进行多次重叠。本申请具有改善喷淋模组喷覆在工件表面的药液流量分布不均衡的问题的效果。
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公开(公告)号：CN118050959B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410432187.6
申请日：2024-04-11
申请人： 广州市巨龙印制板设备有限公司
摘要： 本发明属于线路板显影蚀刻处理技术领域，公开了一种二流体显影蚀刻喷淋装置及方法，所述装置包括输送机构、一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段，一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段分别设置有一流体喷嘴和二流体喷嘴，还包括：加热机构，设置在二流体喷嘴进气的一侧，用于对输送给二流体喷嘴的压缩气体进行加热，使得进入二流体喷嘴的压缩气体与蚀刻液混合后所得到的气液混合蚀刻流体的温度达到所需工艺温度；冷凝回收机构，包括抽风冷凝器，抽风冷凝器抽取显影蚀刻处理段中的气体，使显影蚀刻处理段保持气压平衡；本发明有效避免压缩气体与蚀刻液混合后降低蚀刻液的温度，影响蚀刻质量。
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公开(公告)号：CN118034410B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410439614.3
申请日：2024-04-12
申请人： 广州市巨龙印制板设备有限公司
摘要： 本发明属于蚀刻液处理技术领域，具体地公开了一种蚀刻液雾化喷淋温度控制装置及方法，温度控制装置包括压缩气体通过模块、液体加热模块、气体加热模块和温度控制模块，还包括液体温度反馈测量模块、液体流量测量模块、气体温度反馈测量模块和气体流量测量模块，所述液体加热模块、气体加热模块、液体温度反馈测量模块、液体流量测量模块、气体温度反馈测量模块和气体流量测量模块均与温度控制模块电性相连；所述温度控制模块根据接收到的温度反馈和流量反馈，计算达到预设气液温度T所需的加热功率，并调节液体加热模块和各气体加热单元的加热功率，使得蚀刻液和压缩气体混合后的气液混合物的温度达到预设气液温度T。
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公开(公告)号：CN118676244A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410469974.8
申请日：2024-04-18
申请人： 广州市巨龙印制板设备有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/67 , H01L21/687 , B08B3/02
摘要： 本发明公开了一种PCB板喷淋退膜装置,其包括安装架、一对喷淋架和若干组滚轮；两喷淋架设置为上喷淋架和下喷淋架，上喷淋架和下喷淋架均安装于安装架内，安装架安装有第一转轴，各第一转轴均沿Z轴方向延伸设置，若干对第一转轴沿X轴方向排列设置且位于上喷淋架与下喷淋架之间，同一对的两第一转轴沿Y轴排列且错位设置；滚轮包括上滚轮和下滚轮，各组上滚轮与各组下滚轮分别套设于同一对的两个第一转轴，喷淋架均安装有若干排喷嘴，上喷淋架的各排喷嘴位于安装有各组下滚轮的第一转轴正上方，下喷淋架的各排喷嘴位于安装有下滚轮的各第一转轴正下方。本申请具有在提高喷淋压力的同时减少对硅片的冲击，进而减少硅片在生产过程中破损的效果。
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公开(公告)号：CN118019232B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410420427.0
申请日：2024-04-09
申请人： 广州市巨龙印制板设备有限公司
IPC分类号： H05K3/06
摘要： 本发明属于线路板制造技术领域，公开了一种具有回收雾化的电路板二流体喷淋装置，包括显影蚀刻处理室、冷凝回收机构，冷凝回收机构包括：控制器模块；抽风冷凝模块，与控制器模块电性相连，用于抽取显影蚀刻处理室中的空气，对抽取的空气进行冷凝，回收并排出冷凝液；压缩气体流量检测模块，与控制器模块电性相连，用于检测输入二流体喷嘴的压缩气体的输入流量Q1，并将检测值传递给控制器模块；排气流量监测模块，与控制器模块电性相连，用于检测抽风冷凝模块的排气流量Q2，并将检测值传递给控制器模块；控制器模块对比流量输入流量Q1和排气流量Q2，根据对比结果调节抽风冷凝模块的抽风量，使得排气流量Q2大于流量Q1，且Q2：Q1在1.05:1至1.15:1之间。
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公开(公告)号：CN118050959A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202410432187.6
申请日：2024-04-11
申请人： 广州市巨龙印制板设备有限公司
摘要： 本发明属于线路板显影蚀刻处理技术领域，公开了一种二流体显影蚀刻喷淋装置及方法，所述装置包括输送机构、一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段，一流体显影蚀刻处理段和二流体显影蚀刻处理段分别设置有一流体喷嘴和二流体喷嘴，还包括：加热机构，设置在二流体喷嘴进气的一侧，用于对输送给二流体喷嘴的压缩气体进行加热，使得进入二流体喷嘴的压缩气体与蚀刻液混合后所得到的气液混合蚀刻流体的温度达到所需工艺温度；冷凝回收机构，包括抽风冷凝器，抽风冷凝器抽取显影蚀刻处理段中的气体，使显影蚀刻处理段保持气压平衡；本发明有效避免压缩气体与蚀刻液混合后降低蚀刻液的温度，影响蚀刻质量。
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公开(公告)号：CN118034410A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410439614.3
申请日：2024-04-12
申请人： 广州市巨龙印制板设备有限公司
摘要： 本发明属于蚀刻液处理技术领域，具体地公开了一种蚀刻液雾化喷淋温度控制装置及方法，温度控制装置包括压缩气体通过模块、液体加热模块、气体加热模块和温度控制模块，还包括液体温度反馈测量模块、液体流量测量模块、气体温度反馈测量模块和气体流量测量模块，所述液体加热模块、气体加热模块、液体温度反馈测量模块、液体流量测量模块、气体温度反馈测量模块和气体流量测量模块均与温度控制模块电性相连；所述温度控制模块根据接收到的温度反馈和流量反馈，计算达到预设气液温度T所需的加热功率，并调节液体加热模块和各气体加热单元的加热功率，使得蚀刻液和压缩气体混合后的气液混合物的温度达到预设气液温度T。
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