本发明属于蚀刻液处理技术领域，具体地公开了一种蚀刻液雾化喷淋温度控制装置及方法，温度控制装置包括压缩气体通过模块、液体加热模块、气体加热模块和温度控制模块，还包括液体温度反馈测量模块、液体流量测量模块、气体温度反馈测量模块和气体流量测量模块，所述液体加热模块、气体加热模块、液体温度反馈测量模块、液体流量测量模块、气体温度反馈测量模块和气体流量测量模块均与温度控制模块电性相连；所述温度控制模块根据接收到的温度反馈和流量反馈，计算达到预设气液温度T所需的加热功率，并调节液体加热模块和各气体加热单元的加热功率，使得蚀刻液和压缩气体混合后的气液混合物的温度达到预设气液温度T。