公开(公告)号：CN109003925B

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201810916371.2

申请日：2018-08-13

Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司

Inventor： 毛可勇 ,  顾健波 ,  徐飞 ,  胡勇 ,  金辉

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种用于半导体掩膜板的高精密平板加热装置，包括升降单元、平板加热单元及保温罩单元，平板加热单元固定在升降单元顶端，用于对掩膜板加热，保温罩单元对应设置在平板加热单元上方，用于对掩膜板进行封闭保温，升降单元用于驱动保温罩单元及掩膜上升或下降。本发明升降动作稳定可靠，加热温度均匀，波动小，控制精度高；保温罩单元可将被加热元件完全罩于其中，最大程度的减少外界对被加热元件的影响；平板加热单元将一整块不锈钢板划分成二十五个独立的加热模块，对每个独立加热模块精确控制，以实现平板加热单元的温度波动范围保持在0.1℃以内。

公开(公告)号：CN109003925A

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201810916371.2

申请日：2018-08-13

Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司

Inventor： 毛可勇 ,  顾健波 ,  徐飞 ,  胡勇 ,  金辉

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67098 ,  H01L21/67011

Abstract: 本发明涉及一种用于半导体掩膜板的高精密平板加热装置，包括升降单元、平板加热单元及保温罩单元，平板加热单元固定在升降单元顶端，用于对掩膜板加热，保温罩单元对应设置在平板加热单元上方，用于对掩膜板进行封闭保温，升降单元用于驱动保温罩单元及掩膜上升或下降。本发明升降动作稳定可靠，加热温度均匀，波动小，控制精度高；保温罩单元可将被加热元件完全罩于其中，最大程度的减少外界对被加热元件的影响；平板加热单元将一整块不锈钢板划分成二十五个独立的加热模块，对每个独立加热模块精确控制，以实现平板加热单元的温度波动范围保持在0.1℃以内。