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公开(公告)号：CN107061379B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201710367197.6
申请日：2017-05-23
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
Inventor： 毛可勇
IPC: F15B1/04
Abstract: 本发明涉及一种自动换气式蓄能装置，该蓄能装置包括：底板、蓄能底座、波动组件和气缸壁、蓄能端盖、顶盖、出气组件和进气组件，波动组件包括：分别与蓄能底座连接的单通波纹管和限位管；出气组件包括：出气阀螺栓、出气管、出气阀芯、出气阀座，所述出气管端口和出气阀芯抵接处设置有第一O形圈，出气阀座内设置有：压缩小弹簧、大弹簧和出气轴，进气组件包括：进气管和进气阀座，进气阀座内设置有：进气阀弹簧、T形进气阀芯，进气阀芯和进气阀座上的阶梯进气通道之间设置有第二O形圈。本发明的结构设计较为简单可靠，设计巧妙，可提高现有蓄能装置的稳压效果，后期维护和检修均较为方便，适宜进一步推广应用。
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公开(公告)号：CN109003925B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201810916371.2
申请日：2018-08-13
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种用于半导体掩膜板的高精密平板加热装置，包括升降单元、平板加热单元及保温罩单元，平板加热单元固定在升降单元顶端，用于对掩膜板加热，保温罩单元对应设置在平板加热单元上方，用于对掩膜板进行封闭保温，升降单元用于驱动保温罩单元及掩膜上升或下降。本发明升降动作稳定可靠，加热温度均匀，波动小，控制精度高；保温罩单元可将被加热元件完全罩于其中，最大程度的减少外界对被加热元件的影响；平板加热单元将一整块不锈钢板划分成二十五个独立的加热模块，对每个独立加热模块精确控制，以实现平板加热单元的温度波动范围保持在0.1℃以内。
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公开(公告)号：CN109003925A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810916371.2
申请日：2018-08-13
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67098 , H01L21/67011
Abstract: 本发明涉及一种用于半导体掩膜板的高精密平板加热装置，包括升降单元、平板加热单元及保温罩单元，平板加热单元固定在升降单元顶端，用于对掩膜板加热，保温罩单元对应设置在平板加热单元上方，用于对掩膜板进行封闭保温，升降单元用于驱动保温罩单元及掩膜上升或下降。本发明升降动作稳定可靠，加热温度均匀，波动小，控制精度高；保温罩单元可将被加热元件完全罩于其中，最大程度的减少外界对被加热元件的影响；平板加热单元将一整块不锈钢板划分成二十五个独立的加热模块，对每个独立加热模块精确控制，以实现平板加热单元的温度波动范围保持在0.1℃以内。
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公开(公告)号：CN106640581A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611215905.6
申请日：2016-12-26
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
Inventor： 毛可勇
Abstract: 本发明涉及一种具有良好密封性能的风囊泵，该风囊泵包括：泵头、进液口和出液口、左气缸和右气缸、左波纹管和右波纹管，波纹管内设置有阀体组件，阀体组件包括：进液阀和出液阀，进液阀包括：第一阀座、第一阀弹簧和第一锥形面阀芯，所述第一锥形面阀芯左端具有与进液口抵接的锥形面，第一锥形面阀芯右端具有与第一阀弹簧抵接的第一支架；所述波纹管端部通过法兰与滑动轴端部连接。本发明的结构设计较为合理，通过阀座、阀芯、阀弹簧的不同的装配组合形式、阀芯锥面与进出液口的边缘接触、阀弹簧进行复位，可有效减少整体装配零件种类，达到较好的密封效果和可靠性，方便实用，适宜进一步推广应用。
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公开(公告)号：CN106640581B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201611215905.6
申请日：2016-12-26
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
Inventor： 毛可勇
Abstract: 本发明涉及一种具有良好密封性能的风囊泵，该风囊泵包括：泵头、进液口和出液口、左气缸和右气缸、左波纹管和右波纹管，波纹管内设置有阀体组件，阀体组件包括：进液阀和出液阀，进液阀包括：第一阀座、第一阀弹簧和第一锥形面阀芯，所述第一锥形面阀芯左端具有与进液口抵接的锥形面，第一锥形面阀芯右端具有与第一阀弹簧抵接的第一支架；所述波纹管端部通过法兰与滑动轴端部连接。本发明的结构设计较为合理，通过阀座、阀芯、阀弹簧的不同的装配组合形式、阀芯锥面与进出液口的边缘接触、阀弹簧进行复位，可有效减少整体装配零件种类，达到较好的密封效果和可靠性，方便实用，适宜进一步推广应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107061379A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710367197.6
申请日：2017-05-23
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
Inventor： 毛可勇
IPC: F15B1/04
CPC classification number: F15B1/04 , F15B2201/20 , F15B2201/21 , F15B2201/41
Abstract: 本发明涉及一种自动换气式蓄能装置，该蓄能装置包括：底板、蓄能底座、波动组件和气缸壁、蓄能端盖、顶盖、出气组件和进气组件，波动组件包括：分别与蓄能底座连接的单通波纹管和限位管；出气组件包括：出气阀螺栓、出气管、出气阀芯、出气阀座，所述出气管端口和出气阀芯抵接处设置有第一O形圈，出气阀座内设置有：压缩小弹簧、大弹簧和出气轴，进气组件包括：进气管和进气阀座，进气阀座内设置有：进气阀弹簧、T形进气阀芯，进气阀芯和进气阀座上的阶梯进气通道之间设置有第二O形圈。本发明的结构设计较为简单可靠，设计巧妙，可提高现有蓄能装置的稳压效果，后期维护和检修均较为方便，适宜进一步推广应用。
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公开(公告)号：CN206338182U
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201621434806.2
申请日：2016-12-26
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
Inventor： 毛可勇
Abstract: 本实用新型涉及一种风囊泵气缸密封组件，该组件包括：波纹管囊、连接在波纹管囊端部的波纹管连接端、设置在波纹管连接端和波纹管囊外侧的气缸壁、穿过气缸壁与波纹管连接端连接的活塞杆，气缸壁上设置有与活塞杆外壁匹配的穿孔，所述穿孔内壁和活塞杆外壁之间依次设置有：轴承固定环、滑动轴承、活塞杆密封件和导向防尘圈，所述导向防尘圈外侧和气缸壁外侧相接处设置有压盖。本实用新型的结构可有效阻隔工作环境中的颗粒进入工作腔体，有效减少密封件润滑脂的挥发；降低活塞杆密封件与活塞杆之间的摩擦，提高风囊泵的工作效率，延长风囊泵的使用寿命；可适用于较为恶劣的工作环境，方便实用，适宜进一步推广应用。
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公开(公告)号：CN207112017U
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201720924492.2
申请日：2017-07-27
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
Inventor： 毛可勇
IPC: F16K17/02
Abstract: 本实用新型涉及一种快速泄气阀，包括阀座、阀盖和阀芯，阀座表面开设有凹腔，阀盖末端插设于凹腔内形成整体结构并在凹腔内形成内腔，内腔的底部和侧面的阀座上分别开设有与内腔连通的进气通道和出气通道，阀盖中央开设有与内腔连通的泄气通道；阀芯活动安装于阀盖末端顶部与内腔底部之间的内腔，阀芯向阀座运动至其底表面堵住进气通道的开口，阀芯向阀盖运动至其顶表面堵住泄气通道的开口，朝向阀盖的阀芯侧壁设有贴合阀座侧壁的唇口。本实用新型的有益效果是：采用的均为防腐材料，并且通过阀芯唇口的形变，来驱动阀芯的移动，其结构更加简单可靠，即便压缩空气中有少量的油水混合物，也不会出现停滞和卡顿的现象，保证了风囊泵的平稳工作。
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公开(公告)号：CN206903960U
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201720576281.4
申请日：2017-05-23
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
Inventor： 毛可勇
IPC: F15B1/04
Abstract: 本实用新型涉及一种自动换气式蓄能装置，该蓄能装置包括：底板、蓄能底座、波动组件和气缸壁、蓄能端盖、顶盖、出气组件和进气组件，波动组件包括：分别与蓄能底座连接的单通波纹管和限位管；出气组件包括：出气阀螺栓、出气管、出气阀芯、出气阀座，所述出气管端口和出气阀芯抵接处设置有第一O形圈，出气阀座内设置有：压缩小弹簧、大弹簧和出气轴，进气组件包括：进气管和进气阀座，进气阀座内设置有：进气阀弹簧、T形进气阀芯，进气阀芯和进气阀座上的阶梯进气通道之间设置有第二O形圈。本实用新型的结构设计较为简单可靠，设计巧妙，可提高现有蓄能装置的稳压效果，后期维护和检修均较为方便，适宜进一步推广应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206487612U
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201621434642.3
申请日：2016-12-26
Applicant: 常州瑞择微电子科技有限公司
Inventor： 毛可勇
Abstract: 本实用新型涉及一种风囊泵用单向阀体组件，该阀体组件包括：泵头、进液口和出液口、进液阀和出液阀；进液阀包括：第一阀座、第一阀弹簧和第一锥形面阀芯，第一锥形面阀芯左端具有与进液口抵接的锥形面，第一锥形面阀芯右端具有与第一阀弹簧抵接的第一支架；出液阀包括：第二阀座、第二锥形面阀芯和第二阀弹簧，第二锥形面阀芯右端具有与第二阀座内的一阶通孔抵接的锥形面，第二锥形面阀芯左端具有与第二阀弹簧抵接的第二支架。本实用新型的结构设计较为合理，可达到较好的密封效果和可靠性，适宜进一步推广应用。
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