包括钽合金层的器件
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103515528B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201310253576.4

    申请日:2013-06-24

    IPC分类号: H01L43/08 H01L43/10

    CPC分类号: H01L43/02 G01R33/098

    摘要: 本发明涉及包括钽合金层的器件。一种器件,该器件包括传感器叠层,该传感器叠层包括参考层、自由层以及位于该参考层和该自由层之间的阻挡层;籽层;以及覆层,其中该传感器叠层位于该籽层和该覆层之间,并且其中该籽层或该覆层中的至少一层包括TaX,其中X是从Cr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、W或其组合中选择的。

    包括钽合金层的器件
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103515528A

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:CN201310253576.4

    申请日:2013-06-24

    IPC分类号: H01L43/08 H01L43/10

    CPC分类号: H01L43/02 G01R33/098

    摘要: 本发明涉及包括钽合金层的器件。一种器件,该器件包括传感器叠层,该传感器叠层包括参考层、自由层以及位于该参考层和该自由层之间的阻挡层;籽层;以及覆层,其中该传感器叠层位于该籽层和该覆层之间,并且其中该籽层或该覆层中的至少一层包括TaX,其中X是从Cr、V、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、W或其组合中选择的。