一种单自由度压电尺蠖驱动器及其激励方法

    公开(公告)号:CN115051595A

    公开(公告)日:2022-09-13

    申请号:CN202210763076.4

    申请日:2022-06-30

    IPC分类号: H02N2/02 H02N2/06 H02N2/10

    摘要: 本公开提供了一种单自由度压电尺蠖驱动器及其激励方法,属于压电驱动技术领域,所述单自由度压电尺蠖驱动器包括了转子和定子两个部分,定子分为上、中、下三层结构,由两个环形基座、六个压电堆叠、四个夹钳、四个楔块、四个柔性铰链、十个内六角圆柱头螺钉和一个环形垫片组成。通过设计施加在压电堆叠上的激励电压信号,控制其时序和幅值,激励定子上层夹紧单元产生转动,从而带动转子转动。所述单自由度压电尺蠖驱动器具有大行程、高精度、大扭矩、响应速度快的优点,在微纳米定位、超紧密机械加工、扫描探针显微镜(SPM)系统等领域有着广阔的应用前景。

    一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法

    公开(公告)号:CN115140703A

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202210800735.7

    申请日:2022-07-08

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: B81C1/00 B82Y40/00

    摘要: 本发明涉及一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法,包括:应变施加机构,应变施加机构用于设置样品的空间下方设有移印台,移印台与第一升降部件连接;刮涂机构,包括刮涂平台和刮刀,刮涂平台设置在应变施加机构一侧,刮刀与安装在刮涂平台的第一直线驱动部件连接以实现直线往复运动;移印机构,包括设置在应变施加机构和刮涂机构上方的移印头,移印头通过第二升降部件与第二直线驱动部件连接以实现将刮涂平台上的镀膜材料移印至应变施加机构固定的样品表面,采用本发明的装置自动化程度高,操作方便。

    一种基于微元思想的电磁热压印系统及使用方法

    公开(公告)号:CN112596337B

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202011584480.2

    申请日:2020-12-28

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: G03F7/00

    摘要: 本发明公开了一种基于微元思想的电磁热压印系统及使用方法,解决了现有技术热压印设备无法对异形曲面进行压印的问题,具有适用范围广,可实现复杂曲面压印、减少能源消耗的有益效果,具体方案如下:一种基于微元思想的电磁热压印系统,包括底座,底座设置加热盘,加热盘设置电磁加热单元;支架,支架通过底座支撑,支架内侧设置多个微元压头,相邻两微元压头间隔设定距离设置或相邻两微元压头可接触设置,各个微元压头分别通过伸缩杆与支架顶部连接,每个微元压头内部或顶端分别设置能够与电磁加热单元配合的磁铁,磁铁与电磁加热单元一一对应。

    一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法

    公开(公告)号:CN115140703B

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202210800735.7

    申请日:2022-07-08

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: B81C1/00 B82Y40/00

    摘要: 本发明涉及一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法,包括:应变施加机构,应变施加机构用于设置样品的空间下方设有移印台,移印台与第一升降部件连接;刮涂机构,包括刮涂平台和刮刀,刮涂平台设置在应变施加机构一侧,刮刀与安装在刮涂平台的第一直线驱动部件连接以实现直线往复运动;移印机构,包括设置在应变施加机构和刮涂机构上方的移印头,移印头通过第二升降部件与第二直线驱动部件连接以实现将刮涂平台上的镀膜材料移印至应变施加机构固定的样品表面,采用本发明的装置自动化程度高,操作方便。

    一种可实现异形曲面压印的压印设备及使用方法

    公开(公告)号:CN112817209A

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:CN202011606994.3

    申请日:2020-12-28

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: G03F7/00

    摘要: 本发明公开了一种可实现异形曲面压印的压印设备及使用方法,解决了现有技术中压印设备只能实现平面压印的问题,具有适用范围广,可实现复杂曲面压印的有益效果,具体方案如下:一种可实现异形曲面压印的压印设备,包括多个微元压板,多个微元压板呈若干排若干列布置,相邻两微元压板间隔设定距离设置或相邻两微元压板可接触设置;且每一微元压板均与驱动机构连接,或者所有的微元压板通过弹性件与驱动机构连接。