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公开(公告)号：CN115051595A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210763076.4
申请日：2022-06-30
申请人： 山东大学 , 山东大学日照智能制造研究院 , 三三智能科技(日照)有限公司
摘要： 本公开提供了一种单自由度压电尺蠖驱动器及其激励方法，属于压电驱动技术领域，所述单自由度压电尺蠖驱动器包括了转子和定子两个部分，定子分为上、中、下三层结构，由两个环形基座、六个压电堆叠、四个夹钳、四个楔块、四个柔性铰链、十个内六角圆柱头螺钉和一个环形垫片组成。通过设计施加在压电堆叠上的激励电压信号，控制其时序和幅值，激励定子上层夹紧单元产生转动，从而带动转子转动。所述单自由度压电尺蠖驱动器具有大行程、高精度、大扭矩、响应速度快的优点，在微纳米定位、超紧密机械加工、扫描探针显微镜(SPM)系统等领域有着广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN117723178A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311549224.3
申请日：2023-11-17
IPC分类号： G01L1/18
摘要： 本发明属于柔性压力传感器技术领域，具体涉及一种基于多孔纳米纤维的夹层式柔性压力传感器及其制备方法。基于多孔纳米纤维的夹层式柔性压力传感器包括两层微金字塔结构薄膜电极和夹在两层微金字塔结构薄膜电极之间的多孔纳米纤维膜敏感层，所述微金字塔结构薄膜电极上粘附有铜线，所述微金字塔结构薄膜电极为具有微金字塔阵列结构的聚二甲基硅氧烷薄膜，所述多孔纳米纤维膜敏感层为负载炭黑颗粒的聚乳酸多孔纳米纤维薄膜。纳米纤维膜上的多孔结构为炭黑的渗透提供附着位点，提高纳米纤维的比表面积，形成的复杂导电通路，形变量也得到提高。聚二甲基硅氧烷微金字塔阵列能够显著增大电极与纳米纤维敏感层的比表面积，更进一步提高传感器的性能。
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公开(公告)号：CN115140703A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210800735.7
申请日：2022-07-08
申请人： 山东大学
摘要： 本发明涉及一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法，包括：应变施加机构，应变施加机构用于设置样品的空间下方设有移印台，移印台与第一升降部件连接；刮涂机构，包括刮涂平台和刮刀，刮涂平台设置在应变施加机构一侧，刮刀与安装在刮涂平台的第一直线驱动部件连接以实现直线往复运动；移印机构，包括设置在应变施加机构和刮涂机构上方的移印头，移印头通过第二升降部件与第二直线驱动部件连接以实现将刮涂平台上的镀膜材料移印至应变施加机构固定的样品表面，采用本发明的装置自动化程度高，操作方便。
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公开(公告)号：CN115140703B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202210800735.7
申请日：2022-07-08
申请人： 山东大学
摘要： 本发明涉及一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法，包括：应变施加机构，应变施加机构用于设置样品的空间下方设有移印台，移印台与第一升降部件连接；刮涂机构，包括刮涂平台和刮刀，刮涂平台设置在应变施加机构一侧，刮刀与安装在刮涂平台的第一直线驱动部件连接以实现直线往复运动；移印机构，包括设置在应变施加机构和刮涂机构上方的移印头，移印头通过第二升降部件与第二直线驱动部件连接以实现将刮涂平台上的镀膜材料移印至应变施加机构固定的样品表面，采用本发明的装置自动化程度高，操作方便。
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