公开(公告)号：CN1652650A

公开(公告)日：2005-08-10

申请号：CN200410091682.8

申请日：2004-11-30

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 坂本义明

IPC: H05B33/12 ,  H05B33/14 ,  H05B33/10 ,  C23C16/04

CPC classification number: H01L51/0011 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  H01L27/3211

Abstract: 本发明提供了一种气相沉积掩模和有机电致发光显示设备制造方法。实现了一种特别是在气相沉积开口处具有高图案精度的气相沉积掩模，而无需改变衬底结构。该气相沉积掩模包括板构件、设置在板构件的第一表面处的第一凹入图案、设置在板构件的在该板构件相对侧上的第二表面处的第二凹入图案以及设置在第一凹入图案和第二凹入图案的交叉部分处的通孔图案。该通孔图案的形状被布置成既不同于第一凹入图案的形状也不同于第二凹入图案的形状。

公开(公告)号：CN1258600A

公开(公告)日：2000-07-05

申请号：CN99118344.4

申请日：1999-08-31

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 小池修司 ,  坂本义明 ,  新海知久

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/1635 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2002/14491

Abstract: 在薄的振动铬膜上形成包围压力发生部件的压电的增强部件。增强部件相对于包围压力发生部件的薄膜区域不是分立的,而是连续的。在该膜中引起热应力以及由于压电部件和铬膜不同的晶体结构而产生的应力。增强部件本身的机械强度可以抑制由内应力引起的振动膜的收缩,因而可防止在振动膜上出现裂纹。同样,压力发生部件以及单独的电极的端部被成形为使得应力很难于聚集在该端部上,由此也可以防止在振动膜上出现裂纹。