图案形成方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101156109A

    公开(公告)日:2008-04-02

    申请号:CN200680011107.X

    申请日:2006-02-22

    CPC classification number: G03F7/70791 G03F7/70275 G03F7/70291 G03F7/70358

    Abstract: 本发明提供一种可以通过减轻在图案形成材料的被曝光面上形成的所述图案的析像度的不均或浓度的不均,来高精细而且有效地形成所述图案的图案形成方法。所以,本发明提供一种图案形成方法,其特征在于,在被处理基体上层叠在支撑体上具有感光层的图案形成材料中的该感光层之后,相对于对该感光层,使用曝光头(其中,该曝光头为具备光照射机构以及具有n个排列成二维状的描绘部的光调制机构且被配置成所述描绘部的列方向相对扫描方向呈规定的设定倾斜角度θ),所述方法包括:对于所述曝光头,利用使用描绘部指定机构,指定用于N重曝光的所述描绘部的工序;对于所述曝光头,利用描绘部控制机构,进行所述描绘部的控制的工序;相对于所述感光层,使所述曝光头沿扫描方向相对地移动,从而进行曝光的工序。

    合成激光照射方法及装置

    公开(公告)号:CN1712228A

    公开(公告)日:2005-12-28

    申请号:CN200510079440.1

    申请日:2005-06-22

    Abstract: 由目标输入单元(25)读取记录介质(90)的条形码(91),得到合成激光(Le)的光输出目标值。该目标值小于预定基准值时,由光输出控制单元(30)选择多个半导体激光器(10a、10b…)中的两个半导体激光器(10a、10b),以振荡阈值电流以上最大额定电流以下驱动所选择的半导体激光器(10a、10b),停止驱动未被选择的半导体激光器(10c、10d…)。让由半导体激光器(10a、10b)发射出的通过合成单元(15)合成的合成激光(Le)的光输出成为上述目标值。将合成激光(Le)通过合成激光照射单元(20)照射到记录介质(90)。这样,可以在合成激光照射装置中扩大合成激光的光输出的调节范围。

    描绘装置及描绘方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1716101A

    公开(公告)日:2006-01-04

    申请号:CN200510078585.X

    申请日:2005-06-17

    CPC classification number: G03B27/54 G03F7/70275 G03F7/70291

    Abstract: 组装到曝光装置(描绘装置)的各曝光头(30)中的矩形二维像素阵列,相对于扫描方向构成给定的设定倾斜角度,相对感光材料(12)的曝光面设置。通过狭缝和光检测器的组合测定构成邻接的两个曝光头间的头间连接区域的曝光面上的光点的位置。根据所测定光点的位置,选择像素阵列上的使用像素,以实现将头间连接区域中曝光冗长和不足抑制至最小限度的,接近理想的N重曝光。从而,可以在用多个描绘头在描绘面上形成所期望的二维图案的描绘装置及描绘方法中,减轻由描绘头间相对位置和相对安装角度的误差,以及图案变形等影响引起的分辨性能和浓度的不均。

    永久图案形成方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101189557A

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200680019820.9

    申请日:2006-06-08

    CPC classification number: G03F7/70791 G03F7/70425 H05K3/0082

    Abstract: 本发明提供一种可以通过平均图案偏斜引起的曝光量不均的影响从而抑制成像于感光层上的像的变形,来高精细而且有效地形成永久图案的永久图案形成方法。所以,本发明提供一种永久图案形成方法,其中,使用感光性组合物,在基材的表面形成感光层,然后使用曝光头(其中,该曝光头为具备光照射机构以及光调制机构的曝光头且被配置成所述描绘部的列方向相对扫描方向呈规定的设定倾斜角度θ),对于所述曝光头,利用使用描绘部指定机构,相对于对该感光层,指定用于N重曝光(其中,N为2以上的整数)的所述描绘部,利用描绘部控制机构,进行所述描绘部的控制,使得只有被指定的所述描绘部参与曝光,相对于所述感光层,使所述曝光头向扫描方向相对地移动,从而进行曝光、显影。

    图像记录方法及图像记录装置

    公开(公告)号:CN1578375A

    公开(公告)日:2005-02-09

    申请号:CN200410063212.0

    申请日:2004-06-30

    CPC classification number: B41J2/465

    Abstract: 本发明提供一种利用在与扫描方向交叉的方向排列多个记录元件单元而构成的记录头记录图像时,即使在各记录元件单元的光学倍率上产生误差,也不用机械的调整机构,就能修正图像记录位置的偏移的图像记录方法及装置。由于利用光量监视器(50)的计测,预先识别记录元件单元(166)的光学系统的物理上的机械误差、组装时的误差、环境温度或湿度的时效所引起的光学倍率的变动,根据该变位量,在扫描方向上修正图像记录开始定时,在与扫描方向正交的方向上变更分辨率,而维持标准倍率时的图像的位置,所以不具有旋转移动调整记录元件单元(166)的复杂调整机构,就可以消除相对感光材料(150)的图像记录位置偏移。

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