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公开(公告)号:CN101156109A
公开(公告)日:2008-04-02
申请号:CN200680011107.X
申请日:2006-02-22
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/70275 , G03F7/70291 , G03F7/70358
Abstract: 本发明提供一种可以通过减轻在图案形成材料的被曝光面上形成的所述图案的析像度的不均或浓度的不均,来高精细而且有效地形成所述图案的图案形成方法。所以,本发明提供一种图案形成方法,其特征在于,在被处理基体上层叠在支撑体上具有感光层的图案形成材料中的该感光层之后,相对于对该感光层,使用曝光头(其中,该曝光头为具备光照射机构以及具有n个排列成二维状的描绘部的光调制机构且被配置成所述描绘部的列方向相对扫描方向呈规定的设定倾斜角度θ),所述方法包括:对于所述曝光头,利用使用描绘部指定机构,指定用于N重曝光的所述描绘部的工序;对于所述曝光头,利用描绘部控制机构,进行所述描绘部的控制的工序;相对于所述感光层,使所述曝光头沿扫描方向相对地移动,从而进行曝光的工序。
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公开(公告)号:CN101208634A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200680022797.9
申请日:2006-06-21
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: B41J2/465 , G02B26/0833 , G03F7/70291 , G03F7/70508
Abstract: 一种制作帧数据的装置,上述帧数据用于通过使排列有多个描绘元件群的空间光调制元件在扫描方向上移动、且根据该移动将帧数据输入到空间光调制元件形成图像时,其中,根据在和上述扫描方向对应的副扫描方向以及与该副扫描方向垂直的主扫描方向上将像素数据二维状配置的图像数据,制作帧数据时,分别检测出描绘元件群(圆1~圆24)的至少一部分描绘元件的描绘点的位置,根据检测出的各描绘点的位置制作帧数据。
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公开(公告)号:CN1712228A
公开(公告)日:2005-12-28
申请号:CN200510079440.1
申请日:2005-06-22
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: B41J2/45 , G03G15/04072 , G03G15/0435 , G03G15/326 , G03G2215/0404 , H04N1/40031
Abstract: 由目标输入单元(25)读取记录介质(90)的条形码(91),得到合成激光(Le)的光输出目标值。该目标值小于预定基准值时,由光输出控制单元(30)选择多个半导体激光器(10a、10b…)中的两个半导体激光器(10a、10b),以振荡阈值电流以上最大额定电流以下驱动所选择的半导体激光器(10a、10b),停止驱动未被选择的半导体激光器(10c、10d…)。让由半导体激光器(10a、10b)发射出的通过合成单元(15)合成的合成激光(Le)的光输出成为上述目标值。将合成激光(Le)通过合成激光照射单元(20)照射到记录介质(90)。这样,可以在合成激光照射装置中扩大合成激光的光输出的调节范围。
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公开(公告)号:CN101102900A
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200680001958.6
申请日:2006-01-06
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: H04N1/1008 , H04N1/047 , H04N1/195 , H04N2201/04767
Abstract: 一种帧数据生成方法,是使排列有多个描绘元件群的空间光调制元件在与描绘元件群的排列方向成倾斜角θ的扫描方向上移动,并且对应于该移动将帧数据输入到空间光调制元件形成图像时使用的生成上述帧数据的方法,根据沿着与所述扫描方向对应的副扫描方向及与该副扫描方向正交的主扫描方向二维状配置像素数据的图像数据生成帧数据,其中,对所述图像数据实施变形处理,使得与所述描绘元件群(圈1~圈6)对应的像素数据沿着所述主扫描方向排列,根据该变形处理结束图像数据生成帧数据。
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公开(公告)号:CN1716101A
公开(公告)日:2006-01-04
申请号:CN200510078585.X
申请日:2005-06-17
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H05K3/00
CPC classification number: G03B27/54 , G03F7/70275 , G03F7/70291
Abstract: 组装到曝光装置(描绘装置)的各曝光头(30)中的矩形二维像素阵列,相对于扫描方向构成给定的设定倾斜角度,相对感光材料(12)的曝光面设置。通过狭缝和光检测器的组合测定构成邻接的两个曝光头间的头间连接区域的曝光面上的光点的位置。根据所测定光点的位置,选择像素阵列上的使用像素,以实现将头间连接区域中曝光冗长和不足抑制至最小限度的,接近理想的N重曝光。从而,可以在用多个描绘头在描绘面上形成所期望的二维图案的描绘装置及描绘方法中,减轻由描绘头间相对位置和相对安装角度的误差,以及图案变形等影响引起的分辨性能和浓度的不均。
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公开(公告)号:CN101223481A
公开(公告)日:2008-07-16
申请号:CN200680025418.1
申请日:2006-07-06
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/20 , G02F1/1333 , G02F1/13 , H01L21/027
CPC classification number: G02F1/13394 , G02F1/133707 , G03F7/70275 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/70791
Abstract: 本发明提供:在不使用光掩模的情况下,通过减小在光敏层的曝光表面上形成的图案的分辨率的变化和密度的不均匀性制备内单元结构的方法;通过上述方法制备的精细内单元结构;以及使用该内单元结构的显示器。所述用于制备内单元结构的方法包括通过指定用于N多次曝光的像素部分,使用曝光头将光敏层曝光,控制所述像素部分使得只有被指定的像素部分参与曝光,并且使所述曝光头朝扫描方向相对移动;以及将曝光的光敏层显影,其中安置所述曝光头使得所述像素部分的列方向具有相对于曝光头的扫描方向的倾斜安装角。
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公开(公告)号:CN101189557A
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN200680019820.9
申请日:2006-06-08
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/70425 , H05K3/0082
Abstract: 本发明提供一种可以通过平均图案偏斜引起的曝光量不均的影响从而抑制成像于感光层上的像的变形,来高精细而且有效地形成永久图案的永久图案形成方法。所以,本发明提供一种永久图案形成方法,其中,使用感光性组合物,在基材的表面形成感光层,然后使用曝光头(其中,该曝光头为具备光照射机构以及光调制机构的曝光头且被配置成所述描绘部的列方向相对扫描方向呈规定的设定倾斜角度θ),对于所述曝光头,利用使用描绘部指定机构,相对于对该感光层,指定用于N重曝光(其中,N为2以上的整数)的所述描绘部,利用描绘部控制机构,进行所述描绘部的控制,使得只有被指定的所述描绘部参与曝光,相对于所述感光层,使所述曝光头向扫描方向相对地移动,从而进行曝光、显影。
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公开(公告)号:CN1578375A
公开(公告)日:2005-02-09
申请号:CN200410063212.0
申请日:2004-06-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H04N1/04
CPC classification number: B41J2/465
Abstract: 本发明提供一种利用在与扫描方向交叉的方向排列多个记录元件单元而构成的记录头记录图像时,即使在各记录元件单元的光学倍率上产生误差,也不用机械的调整机构,就能修正图像记录位置的偏移的图像记录方法及装置。由于利用光量监视器(50)的计测,预先识别记录元件单元(166)的光学系统的物理上的机械误差、组装时的误差、环境温度或湿度的时效所引起的光学倍率的变动,根据该变位量,在扫描方向上修正图像记录开始定时,在与扫描方向正交的方向上变更分辨率,而维持标准倍率时的图像的位置,所以不具有旋转移动调整记录元件单元(166)的复杂调整机构,就可以消除相对感光材料(150)的图像记录位置偏移。
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