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公开(公告)号:CN101057315A
公开(公告)日:2007-10-17
申请号:CN200580037875.8
申请日:2005-11-04
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 佐佐木义晴
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , G03F7/004 , H05K3/00 , G03F7/038
CPC classification number: G03F7/70866 , G03F7/70791 , G03F7/70983 , H05K3/0082
Abstract: 本发明提供一种曝光装置,在将由感光层和支承体叠层形成的感光薄膜的所述感光层侧粘附在衬底上构成的板状叠层体中的感光层,将规定的图案曝光时,尽量减小支承体被剥离后的板状叠层体中的感光层与氧之间的反应。为了实现这个目的,在曝光装置(1)内设置用于从感光材料(150)剥离支承体的剥离装置(180),通过剥离装置(180)从感光材料(150)剥离支承体后,立即通过扫描机构(162)在感光材料(150)进行图案的曝光。
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公开(公告)号:CN101052918A
公开(公告)日:2007-10-10
申请号:CN200580030901.4
申请日:2005-07-14
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/031 , G03F7/0045 , G03F7/028 , G03F7/029 , G03F7/0295
Abstract: 本发明的目的在于,提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料及感光性层叠体、图案形成装置、图案形成方法,其中,所述感光性组合物相对于波长400~410nm的曝光光的灵敏度分布大致一定、图案重现性优良、最大地抑制图案形状的偏差、可以在明室环境下处理。因此,提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料,其中,所述感光性组合物在支持体上至少具有感光层,该感光层含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂,该感光层在380~420nm的波长域具有光谱灵敏度的最大值,同时,在400nm处可以形成图案的最小曝光量S400为200mJ/cm2以下、在410nm处可以形成图案的最小曝光量S410为200mJ/cm2以下、且满足0.6<S400/S410<1.4。
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公开(公告)号:CN101073295A
公开(公告)日:2007-11-14
申请号:CN200580038880.0
申请日:2005-11-04
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 佐佐木义晴
CPC classification number: G03F7/161 , G03F7/2012 , H05K1/0266 , H05K3/0073 , H05K3/0082 , H05K3/064 , H05K2201/09936 , H05K2203/163
Abstract: 为了能够使图案的线宽稳定地制造印制电路板,叠层装置(2)向基板(K)叠层抗蚀层,并以携带表示叠层日期/时间的信息的光对基板(K)进行曝光。在曝光装置(3)进行曝光之前读取叠层日期/时间信息,并判断在进行叠层后到当前为止的经过时间是否在规定的保持时间内。如果所述判断被否定,则曝光装置(3)发出警报,向操作员告知在进行叠层后到当前为止的经过时间不在规定的保持时间内。关于该基板(K),由于得不到期望的线宽,因而操作员从曝光装置(3)中移除基板(K)。
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公开(公告)号:CN1612048A
公开(公告)日:2005-05-04
申请号:CN200410086275.8
申请日:2004-10-29
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的目的是得到具有高分辨率的金属电路图案的印刷电路板。本发明提供一种印刷电路板的制造方法,其包括下述的工序:制造下述的印刷电路板形成用基板的工序:该基板具有在支撑体上层压了低敏感度的第一感光层和高敏感度的第二感光层的感光层转录薄膜以及通孔,该基板表面被金属层覆盖,该金属层的表面粗糙度为0.01到0.40μm;将感光性转录薄片压接在基板的表面上,以使其与第二感光层接触,制得感光性层压体的层压工序;从层压体的支撑体侧,用硬化第二感光层所必须的光量的光照射基板的电路图案形成区域,然后用使第一感光层和第二感光层同时硬化的光量的光照射包含基板通孔的开口部分的区域,形成硬化层区域的曝光工序;支撑体的剥离工序;溶解除去未硬化的感光层区域的显影工序;金属层的蚀刻工序以及硬化层的除去工序。
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公开(公告)号:CN101263423A
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:CN200680033451.9
申请日:2006-09-01
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供相对于400~410nm波长的曝光光的感光度分布大致一定且不会被激光曝光时的曝光波长的偏差所影响、图案再现性出色、图案形状的偏差被极度抑制并可以在明室环境下进行处理的感光性组合物等。为此,该感光性组合物等的特征在于,至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、以及增感剂,该增感剂含有至少两种最大吸收波长为340~500nm的增感剂。
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公开(公告)号:CN1821882A
公开(公告)日:2006-08-23
申请号:CN200510137365.X
申请日:2005-10-10
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 佐佐木义晴
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/2022 , G03F7/70425 , H05K3/0082 , H05K3/064
Abstract: 本发明涉及一种曝光方法和装置,其在对由保护层等对光具有敏感度的感光层叠层而成的印刷电路板等记录介质进行图形曝光时,维持感光层的结合性的同时,防止感光层无法除去,和感光层易于脱落的问题。其是通过曝光装置(3)在对形成于基板上的保护层上的配线图形进行曝光时,使配线区域边缘区域上照射的光的照射能量大于边缘区域之外的区域上照射的光的照射能量。
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公开(公告)号:CN1240554C
公开(公告)日:2006-02-08
申请号:CN02802323.4
申请日:2002-05-21
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: B41M5/42 , B41J2/325 , B41J2/4753 , B41J13/0009 , B41J13/0018 , B41J13/0081 , B41M5/38221
Abstract: 本发明提供一种激光热转移记录方法,包括从记录介质盒中传送出图像接收片和多重热转移片,将图像接收片的图像接收层叠在热转移片成像层上,并把它们置于记录介质支持元件上,然后用适用于图像数据的激光束照射热转移片,将成像层上激光照射区转移到图像接收片的图像接收层上,从而记录图像,该方法的特征在于图像接收片和热转移片是按送入记录介质支持元件的次序层压的,并包含在记录介质盒中,而图像接收片和/或上述热转移片的背层表面的静摩擦系数小于等于0.7。根据这种激光热转移记录方法,每个片都可以以稳定的状态传送进料,而不引起堵塞或错位,从而避免了任何由于粘附外来物或手工操作失误引起的放错彩色记录次序而造成的图像缺陷。
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公开(公告)号:CN1464845A
公开(公告)日:2003-12-31
申请号:CN02802323.4
申请日:2002-05-21
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: B41M5/42 , B41J2/325 , B41J2/4753 , B41J13/0009 , B41J13/0018 , B41J13/0081 , B41M5/38221
Abstract: 本发明提供一种激光热转移记录方法,包括从记录介质盒中传送出图像接收片和多重热转移片,将图像接收片的图像接收层叠在热转移片成像层上,并把它们置于记录介质支持元件上,然后用适用于图像数据的激光束照射热转移片,将成像层上激光照射区转移到图像接收片的图像接收层上,从而记录图像,该方法的特征在于图像接收片和热转移片是按送入记录介质支持元件的次序层压的,并包含在记录介质盒中,而图像接收片和/或上述热转移片的背层表面的静摩擦系数小于等于0.7。根据这种激光热转移记录方法,每个片都可以以稳定的状态传送进料,而不引起堵塞或错位,从而避免了任何由于粘附外来物或手工操作失误引起的放错彩色记录次序而造成的图像缺陷。
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