公开(公告)号：CN103842830B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201280049163.8

申请日：2012-11-12

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 坂上智 ,  矢尾博信 ,  木代雅巳 ,  铃木健

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器，该加速度传感器能在可动电极上形成多个贯通孔的同时确保刚性。包括通过在硅支承层（3）上形成氧化硅层（4）、并在该氧化硅层上形成活性硅层（5）而得到的SOI基板（2），在所述SOI基板的活性硅层上形成由弹性梁部支承的锤部所构成的可动电极（11）、以及与该可动电极的周边相对面地固定配置的固定电极(13ｘａ)，(13ｘｂ)，(14ｙａ)，(14ｙｂ)，在所述可动电极的与所述弹性梁部（12）相连的外周部的内侧的整个面上形成在Z轴方向上贯通的贯通孔（16）。

公开(公告)号：CN103534941A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201180070842.9

申请日：2011-11-14

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 铃木健 ,  松尾直之 ,  木代雅巳

IPC: H03F3/70 ,  H03F3/45 ,  H03G3/10

CPC classification number: H03G1/0023 ,  G01D5/24 ,  G01L9/08 ,  G01L9/12 ,  G01P15/125 ,  G01R27/025 ,  G01R29/24 ,  G01R31/2829 ,  H03F3/45183 ,  H03F3/45286 ,  H03F3/45475 ,  H03F3/70 ,  H03F2203/45521 ,  H03F2203/45526

Abstract: 本发明提供一种电荷检测电路，所述电荷检测电路能够容易地对差分放大电路的输入侧的增益进行调整。将由电荷发生型传感器及电容变化型传感器的任一个构成的物理量检测传感器（21、22）的一端连接到差分放大电路（1）的负极输入端子，将另一端连接到所述差分放大电路（1）的正极输入端子。在所述差分放大电路（1）的输出端子与所述负极输入端子之间，并联连接有反馈电阻Rf与反馈电容Cf，且在所述差分放大电路（1）的正极输入端子与基准电压间并联连接有消除电阻Rc与消除电容Cc。设置有漏极电压调整电路（12、13），所述漏极电压调整电路（12、13）对分别输入所述差分放大电路（1）的正负差分输入的2个场效应晶体管（FET1、FET2）中至少一个的漏极电压进行调整，从而能够对所述正负差分输入中的至少一个的增益进行调整。

公开(公告)号：CN103842830A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280049163.8

申请日：2012-11-12

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 坂上智 ,  矢尾博信 ,  木代雅巳 ,  铃木健

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器，该加速度传感器能在可动电极上形成多个贯通孔的同时确保刚性。包括通过在硅支承层（3）上形成氧化硅层（4）、并在该氧化硅层上形成活性硅层（5）而得到的SOI基板（2），在所述SOI基板的活性硅层上形成由弹性梁部支承的锤部所构成的可动电极（11）、以及与该可动电极的周边相对面地固定配置的固定电极(13ｘａ)，(13ｘｂ)，(14ｙａ)，(14ｙｂ)，在所述可动电极的与所述弹性梁部（12）相连的外周部的内侧的整个面上形成在Z轴方向上贯通的贯通孔（16）。