公开(公告)号：CN103842830A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280049163.8

申请日：2012-11-12

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 坂上智 ,  矢尾博信 ,  木代雅巳 ,  铃木健

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器，该加速度传感器能在可动电极上形成多个贯通孔的同时确保刚性。包括通过在硅支承层（3）上形成氧化硅层（4）、并在该氧化硅层上形成活性硅层（5）而得到的SOI基板（2），在所述SOI基板的活性硅层上形成由弹性梁部支承的锤部所构成的可动电极（11）、以及与该可动电极的周边相对面地固定配置的固定电极(13ｘａ)，(13ｘｂ)，(14ｙａ)，(14ｙｂ)，在所述可动电极的与所述弹性梁部（12）相连的外周部的内侧的整个面上形成在Z轴方向上贯通的贯通孔（16）。

公开(公告)号：CN103842830B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201280049163.8

申请日：2012-11-12

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 坂上智 ,  矢尾博信 ,  木代雅巳 ,  铃木健

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器，该加速度传感器能在可动电极上形成多个贯通孔的同时确保刚性。包括通过在硅支承层（3）上形成氧化硅层（4）、并在该氧化硅层上形成活性硅层（5）而得到的SOI基板（2），在所述SOI基板的活性硅层上形成由弹性梁部支承的锤部所构成的可动电极（11）、以及与该可动电极的周边相对面地固定配置的固定电极(13ｘａ)，(13ｘｂ)，(14ｙａ)，(14ｙｂ)，在所述可动电极的与所述弹性梁部（12）相连的外周部的内侧的整个面上形成在Z轴方向上贯通的贯通孔（16）。