一种具有新型隧穿钝化层的晶硅光伏电池及其生产设备

    公开(公告)号:CN119384102A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202411506196.1

    申请日:2024-10-28

    Abstract: 本发明公开了一种具有新型隧穿钝化层的晶硅光伏电池及其生产设备,涉及晶硅光伏电池技术领域。本发明采用溶胶凝胶法制备凝胶膜,采用凝胶膜热氧化法制备碳掺杂氧化硅膜,将碳掺杂氧化硅薄膜夹在晶硅基片与掺杂多晶硅薄膜之间用作结区隧穿钝化层,提升晶硅光伏电池的性能。该专利通过独特的搅拌结构和刮动清洁功能,提高了溶胶的混合效果和设备的清洁度,为晶硅光伏电池的生产提供了有效的技术支持。该搅拌设备包括搅拌釜,搅拌釜顶部安装有动力结构,通过动力件提供动力,配合往复件和旋转件带动搅拌结构内的搅拌件在搅拌釜内进行上下滑动和旋转搅拌,实现对多种溶胶的混合搅拌。搅拌结构内设置有可调节搅拌范围的搅拌杆,通过上调节件内的底杆对搅拌杆进行抵触调节,实现对搅拌釜内侧壁的刮动清洁。

    一种用作晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜及制备设备

    公开(公告)号:CN119521836B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202411642233.1

    申请日:2024-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种用作晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜及制备设备,涉及光伏电池生产技术领域,包括由底板和上盖组成的反应腔室,还包括同轴波导,其安装于反应腔室底部,所述同轴波导一端于反应腔室下方安装有矩形波导,另一端于反应腔室内安装有基台,所述基台和底板之间安装有石英玻璃环,扩散式进气组件,其转动安装于上盖中,所述上盖内安装有分流托架,所述扩散式进气组件底部与分流托架相搭接,所述分流托架底部设有环形分流腔和位于环形分流腔内的中心分流盘。本发明通过扩散式进气组件和分流托架的设计,气体能够均匀分布到反应腔室的各个角落,从而提高了反应的均匀性,使得隧穿钝化层的质量更加稳定可靠。

    一种用作晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜及制备设备

    公开(公告)号:CN119521836A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411642233.1

    申请日:2024-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种用作晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜及制备设备,涉及光伏电池生产技术领域,包括由底板和上盖组成的反应腔室,还包括同轴波导,其安装于反应腔室底部,所述同轴波导一端于反应腔室下方安装有矩形波导,另一端于反应腔室内安装有基台,所述基台和底板之间安装有石英玻璃环,扩散式进气组件,其转动安装于上盖中,所述上盖内安装有分流托架,所述扩散式进气组件底部与分流托架相搭接,所述分流托架底部设有环形分流腔和位于环形分流腔内的中心分流盘。本发明通过扩散式进气组件和分流托架的设计,气体能够均匀分布到反应腔室的各个角落,从而提高了反应的均匀性,使得隧穿钝化层的质量更加稳定可靠。

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