公开(公告)号：CN114637110A

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN202210263856.2

申请日：2022-03-17

Applicant: 安徽大学

Inventor： 任信钢 ,  陶伟 ,  黄志祥 ,  蔡雪原 ,  吴先良 ,  谢国大 ,  王思亮 ,  郭小辉

IPC: G02B26/08 ,  B81B7/02 ,  G01S7/481

Abstract: 本发明公开了一种具有静电驱动的双层扭转的MEMS微镜及激光雷达，涉及微机电技术领域，包括衬底、外层框架、内层框架和镜面结构，镜面结构位于内层框架的上方，衬底设置有第一梳齿结构，外层框架设置有第二梳齿结构和第三梳齿结构，内层框架设置有第四梳齿结构和第五梳齿结构，镜面结构设置有第六梳齿结构，第一梳齿结构与第二梳齿结构对应，第三梳齿结构与第四梳齿结构对应，第五梳齿结构与第六梳齿结构对应，第一梳齿结构、第三梳齿结构和第五梳齿结构分别用于施加电压激励，第二梳齿结构、第四梳齿结构和第六梳齿结构分别用于接地。本发明解决了在静电力驱动下MEMS微镜偏转角度小的难题。