一种高纯气体纯度的测试分析系统及其测试方法

    公开(公告)号:CN119827714A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202411990967.9

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明公开了一种高纯气体纯度的测试分析系统及其测试方法,包括依次相连的分子泵、冷阱、测试腔体、连接管路、气体取样器,所述测试腔体外侧设有烘烤装置,所述连接管路包括并联连接的第一连接管路和第二连接管路,任一所述连接管路上设有MFC流量计,所述第一连接管路和第二连接管路上均设有阀门,所述测试腔体上连接有残余气体分析仪和高真空规。本发明中,通过气体分析仪能够对混合气体的组分定量分析监测,通过真空规测量10‑7Pa量级的压力,从而实现GM制冷机系统高纯氦气工质的纯度定量分析,监测氦气压缩机输出氦气的纯度,进而能够确认吸附器的更换周期。

    一种低温放气率测量设备

    公开(公告)号:CN222067028U

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202420402268.7

    申请日:2024-03-01

    Abstract: 本实用新型公开了一种低温放气率测量设备,包括抽空设备、插板阀、测试腔体、冷源、真空测试仪,所述抽空设备与测试腔体相连,所述抽空设备与测试腔体之间设有插板阀,所述测试腔体还连接有真空测试仪,其测试端延伸至测试腔体内,所述测试腔体还连接有冷源,所述抽空设备包括低温泵和前级泵,所述低温泵包括GM制冷机,所述冷源为GM变频制冷机。本实用新型中,通过低温泵和前级泵的设置,能够为测试腔体提供洁净的超高真空环境,通过将冷源设置为GM变频制冷机,能够实现从320K到4K的超宽温区控温,通过真空测试仪可分别测量无样品和有样品时测试腔体中的真空变化,从而测量出样品在低温下的放气率。

    一种可调节水汽抽速的薄型低温冷阱

    公开(公告)号:CN222910201U

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202422024522.7

    申请日:2024-08-20

    Abstract: 本实用新型公开了一种可调节水汽抽速的薄型低温冷阱,包括壳体、冷凝板组件、制冷机,所述壳体内设有两个相互贯通的腔体结构,一个所述腔体内设有制冷机,另一所述腔体内设有冷凝板组件,所述制冷机的一级冷头上的连接板能够伸入另一所述腔体内并与冷凝板组件相连,所述冷凝板组件包括若干冷凝板,若干所述冷凝板能够配置形成具有可变尺寸的入射孔。本实用新型中,通过使冷凝板组件上能够形成具有可变尺寸的入射孔,即能够调节不同大小的冷凝区域,足够大的冷凝板区域能够保证水汽碰到冷凝板后直接凝华成冰,从而可提高水汽抽速,也提高了去水汽的效率。

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