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公开(公告)号：CN119827714A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411990967.9
申请日：2024-12-31
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高纯气体纯度的测试分析系统及其测试方法，包括依次相连的分子泵、冷阱、测试腔体、连接管路、气体取样器，所述测试腔体外侧设有烘烤装置，所述连接管路包括并联连接的第一连接管路和第二连接管路，任一所述连接管路上设有MFC流量计，所述第一连接管路和第二连接管路上均设有阀门，所述测试腔体上连接有残余气体分析仪和高真空规。本发明中，通过气体分析仪能够对混合气体的组分定量分析监测，通过真空规测量10‑7Pa量级的压力，从而实现GM制冷机系统高纯氦气工质的纯度定量分析，监测氦气压缩机输出氦气的纯度，进而能够确认吸附器的更换周期。
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公开(公告)号：CN115628199B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202211267329.5
申请日：2022-10-17
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了低温泵抽空装置及其抽空方法，包括低温泵组件、支管路组件、主管路组件、真空规、控制器、腔室，所述低温泵组件通过主管路组件与腔室相连，所述低温泵组件还通过支管路组件与主管路组件连通，且支管路组件管路直径小于主管路组件管路直径。本发明中，通过支管路组件及其控制阀门的设置可实现对腔室内大气的降压，使其满足低温泵组件的使用工况，防止低温泵组件的二级冷板温度超过阈值，通过控制器可根据腔室的体积及真空规反馈的压力值控制主管路组件和支管路组件上的控制阀门的开度，控制低温泵组件气体热负荷在阈值以下，从而使得本装置可直接对大气状态的腔室直接抽真空，同时免除了干泵等粗抽泵的使用，降低真空获取成本。
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公开(公告)号：CN113686059B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202110875079.2
申请日：2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、储气腔、一级回热器、节流制冷器，所述压缩机通过管道与储气腔相连通，所述储气腔的内腔安装有阀组，所述阀组包括固定阀、旋转阀，所述固定阀的内腔圆周分布开设有三个排气孔，且所述排气孔均与旋转阀相连通，所述旋转阀的表面相位角均开设有与排气孔相对应的第二进气孔，所述阀组通过管道与一级回热器相连通，所述一级回热器的下端通过管道贯通连接有二级回热器，所述二级回热器的下端通过管道与节流制冷器相连通，有效的提高了制冷效率，同时提升了有效的制冷量，大大提高了装置的实用性，取消了外部的预冷部件，结构上整合成一套设备，更加紧凑。
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公开(公告)号：CN108252896B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711418218.9
申请日：2017-12-24
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种快速降温型低温泵，包括壳体、双级GM制冷机系统、辐射冷屏、低温板以及引入外部制冷液体的液冷源馈入部件，所述液冷源馈入部件包括中空直线导入器、馈入管路、液冷源容器、导冷块。调节所述中空直线导入器，可带动所述馈入管路的移动，实现安装于液冷源容器上的导冷块与所述一级冷却台的接触和分离。本发明还公开了该低温泵的制冷方法。相比于现有技术，本发明具有成本较低、控制过程简易、可实现快速制冷等特点。
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公开(公告)号：CN108915991A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810632746.2
申请日：2018-06-19
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: F04B37/08
Abstract: 本发明公开了一种带热桥的快速降温型低温泵，包括具备较低冷却温度的一级冷却台、具备更低冷却温度的二级冷却台和低温板组件，所述二级冷却台与低温板组件热连接，其特征在于，还包括至少一根热桥，其一端连接一级冷却台，另一端连接二级冷却台或低温板组件，每根热桥为内充高导热系数气体介质的气隙式储气容器。采用上述结构的低温泵，可显著缩短低温泵的降温时间，同时具有结构简易、易于实施、无需人工主动控制等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116066323B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202211627463.1
申请日：2022-12-16
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵，包括：壳体，壳体具有容纳空间和敞口；障板，障板设在敞口上，障板具有第一区域和第二区域，第一区域上设有多个第一通孔，第二区域上设有多个第二通孔，第一通孔的孔面积之和小于第二通孔的孔面积之和；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，冷板组件包括第一冷板和第二冷板，第一冷板在障板上的正投影和第一区域的面积相等，第二冷板设在第一冷板的远离障板的一侧，并连接第一冷板。本发明的低温泵，通过降低冷板组件中第一冷板的气体捕获量，提高第二冷板的气体捕获量，使得第二冷板能被充分利用起来，提高了低温泵的吸气容量。
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公开(公告)号：CN116086052A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211558252.7
申请日：2022-12-06
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: F25B40/06
Abstract: 本发明公开了一种蓄冷装置、制冷机及低温泵，蓄冷装置包括：一级蓄冷部件，一级蓄冷部件上设有第一空腔，以及连通第一空腔的第一排气孔和第二排气孔，第一排气孔设在一级蓄冷部件的外表面上，一级蓄冷部件具有第一端部，第二排气孔设在第一端部上；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件具有第二端部，第二端部设在第一端部上，且与第一端部之间形成有第一进气道，第二端部上设有进气口，二级蓄冷部件的内部设有第二空腔，第二空腔连通进气口。本发明通过一级蓄冷部件上设置第一排气孔和第二排气孔能实现双排气，使一级蓄冷部件和二级蓄冷部件的关联性降低，冷量和温度的耦合性减小，可以增加一级蓄冷部件和二级蓄冷部件的冷量和温度的稳定性和可控性。
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公开(公告)号：CN115681079A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211432309.9
申请日：2022-11-15
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵设备及其运转方法，包括GM制冷机、壳体、控制部件、压缩机单元、连接管路，所述连接管路包括与壳体连通的吹扫管路和抽空管路，所述吹扫管路和抽空管路上均设有控制阀门，所述GM制冷机设于壳体内，且GM制冷机包括一级冷却台、二级冷却台以及驱动电机。本发明中，通过在控制部件根据温度传感器反馈的温度调节低温泵的驱动电机的转速，根据转速的调节达到控制设定的温度目标值。控制部件在低温泵再生过程中进行自动再生，压缩机通过自身控制单元与低温泵控制部件信息交互获取低温泵再生状态，在升温阶段提高压缩机的运行压力差，提高了低温泵的绝热压缩效率，加快再生升温阶段的速度。
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公开(公告)号：CN110925164A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911171819.3
申请日：2019-11-24
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种离子注入机用高性能低温泵，包括壳体、制冷机、辐射冷屏、障板，还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板，所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板，所述低温板表面设有吸附材料，所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口，所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接，所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。上述结构的离子注入机用高性能低温泵有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量，具有结构简易、安装方便的特点。
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公开(公告)号：CN107605700A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710884204.X
申请日：2017-09-26
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。本发明提供的低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口，实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。
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