公开(公告)号：CN119827714A

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202411990967.9

申请日：2024-12-31

Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司

Inventor： 杨杨 ,  邓家良 ,  武义锋 ,  叶美 ,  陆广宝 ,  曾环 ,  韩雨松 ,  程祥 ,  冯欣宇

IPC: G01N33/00 ,  G01N1/24 ,  G01F1/76

Abstract: 本发明公开了一种高纯气体纯度的测试分析系统及其测试方法，包括依次相连的分子泵、冷阱、测试腔体、连接管路、气体取样器，所述测试腔体外侧设有烘烤装置，所述连接管路包括并联连接的第一连接管路和第二连接管路，任一所述连接管路上设有MFC流量计，所述第一连接管路和第二连接管路上均设有阀门，所述测试腔体上连接有残余气体分析仪和高真空规。本发明中，通过气体分析仪能够对混合气体的组分定量分析监测，通过真空规测量10‑7Pa量级的压力，从而实现GM制冷机系统高纯氦气工质的纯度定量分析，监测氦气压缩机输出氦气的纯度，进而能够确认吸附器的更换周期。