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公开(公告)号:CN102610997B
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201210020795.3
申请日:2012-01-18
Applicant: 安华高科技通用IP(新加坡)公司
Inventor: 盖德·艾伯特·罗格若 , 方瑞雨 , 阿里桑德罗·斯塔诺 , 朱莉安娜·莫若罗
IPC: H01S5/026
Abstract: 本发明涉及一种表面发射半导体激光器装置,其中,边缘发射激光器与衍射或折射透镜集成在同一半导体激光器装置上。提供了一种表面发射半导体激光器装置,包括:形成在布置于半导体衬底上的各个半导体材料层中的边缘发射激光器,在衬底上与形成边缘发射激光器的层横向相邻布置的聚合物材料,形成在聚合物材料的上表面内或上表面上的衍射或折射透镜,形成在聚合物材料的大致面向激光器的出射端面的倾斜侧反射器面上的侧反射器,布置在聚合物材料下方的衬底上的下反射器。激光穿出出射端面并在由侧反射器朝向下反射器反射之前传播通过聚合物材料。激光之后由下反射器朝向透镜再次反射,透镜将激光沿着衬底的上表面大致法向的方向引导到装置之外。
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公开(公告)号:CN104022441A
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201410065721.0
申请日:2014-02-26
Applicant: 安华高科技通用IP(新加坡)公司
CPC classification number: H01L33/06 , H01S5/0201 , H01S5/0282 , H01S5/1082 , H01S5/2202 , H01S5/343 , H01S2301/176
Abstract: 具有带有单层光学涂层的窗的经蚀刻小面激光器。一种边缘发射经蚀刻小面光学半导体结构具有:衬底;作用多量子阱MQW区域,其形成于所述衬底上;及脊形波导,其形成于所述MQW区域上方,沿实质上纵向方向在波导第一经蚀刻末端小面与波导第二经蚀刻末端小面之间延伸。用于形成其中安置所述经蚀刻末端小面的窗的掩模层由直接安置于所述脊形波导上的单一电介质材料组成。由制成第二掩模的相同电介质材料的不多于一个层组成的光学涂层直接安置于所述第二掩模上且直接安置于所述窗上以涂覆所述经蚀刻末端小面。
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