公开(公告)号：CN1953953B

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200580015265.8

申请日：2005-03-15

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 角田巧 ,  长谷川千寻 ,  绵贯耕平 ,  樱井弘之 ,  金户宏树

IPC: C07C49/92 ,  C23C16/18 ,  H01L21/285 ,  C07F1/08 ,  C07F3/00 ,  C07F3/02 ,  C07F3/06 ,  C07F5/00 ,  C07F5/06 ,  C07F7/00 ,  C07F7/22 ,  C07F7/24 ,  C07F7/28 ,  C07F9/00 ,  C07F11/00 ,  C07F13/00 ,  C07F15/04 ,  C07F15/06

CPC classification number: C23C16/40 ,  C07C45/455 ,  C07C45/77 ,  C07C49/92 ,  C23C16/18 ,  C07C49/175

Abstract: 提供能够适合用于通过CVD法制造含金属薄膜的金属络合物和用以制造含金属薄膜的方法。包含具有烷氧基烷基甲基的β-酮酸基配体的金属络合物，和使用所述金属络合物通过CVD法制造含金属薄膜的方法。

公开(公告)号：CN1953953A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200580015265.8

申请日：2005-03-15

Applicant: 宇部兴产株式会社

Inventor： 角田巧 ,  长谷川千寻 ,  绵贯耕平 ,  樱井弘之 ,  金户宏树

IPC: C07C49/92 ,  C23C16/18 ,  H01L21/285 ,  C07F1/08 ,  C07F3/00 ,  C07F3/02 ,  C07F3/06 ,  C07F5/00 ,  C07F5/06 ,  C07F7/00 ,  C07F7/22 ,  C07F7/24 ,  C07F7/28 ,  C07F9/00 ,  C07F11/00 ,  C07F13/00 ,  C07F15/04 ,  C07F15/06

CPC classification number: C23C16/40 ,  C07C45/455 ,  C07C45/77 ,  C07C49/92 ,  C23C16/18 ,  C07C49/175

Abstract: [问题]提供能够适合用于通过CVD法制造含金属薄膜的金属络合物和用以制造含金属薄膜的方法。[解决问题的方法]包含具有烷氧基烷基甲基的β－酮酸基配体的金属络合物，和使用所述金属络合物通过CVD法制造含金属薄膜的方法。