一类具有巯基配体的金属氧簇化合物及其在制备光刻胶组合物中的新用途

    公开(公告)号:CN118852226A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202410866190.9

    申请日:2024-07-01

    申请人: 南开大学

    IPC分类号: C07F7/00 C07F7/28 G03F7/004

    摘要: 一类具有巯基配体的金属氧簇化合物及其在制备光刻胶组合物中的新用途,该光刻胶组合物为负性光刻胶组合物,该组合物包括至少1种通式为[MxOy(OR)m(L)n]的金属氧簇化合物,以及光刻胶溶剂;通式中M代表金属元素,O代表氧元素,R可以选自氢原子、烃基和酰基,L为具有巯基的有机配体,1≤x≤50,1≤y≤50,0≤m≤50,1≤n≤50。本发明所述的金属氧簇化合物分子量低、分子尺寸单一、对光刻曝光光源的灵敏度高,具有的巯基配体在光刻的曝光过程可以通过二硫键的生成使金属氧簇化合物相互交联达到高灵敏度和高分辨率的负性光刻效果。本发明还公开了包括上述具有巯基配体的金属氧簇化合物的制备方法、光刻胶组合物及其用于光刻的具体使用方法。

    含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、及图案形成方法

    公开(公告)号:CN118239972A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202311749455.9

    申请日:2023-12-19

    摘要: 本发明涉及含金属的膜形成用化合物、含金属的膜形成用组成物、及图案形成方法。本发明提供对比已知的抗蚀剂下层膜材料具有优良的干蚀刻耐性且兼顾高程度的填埋/平坦化特性的金属化合物、使用了该化合物的含金属的膜形成用组成物、使用该组成物于抗蚀剂材料的图案形成方法。一种含金属的膜形成用化合物,是含金属的膜形成用组成物使用的含金属的膜形成用化合物,其特征为:前述化合物是含有选自由Ti、Zr、及Hf构成的群组中的至少1种金属原子、及配位于前述金属原子的配位子的金属化合物,前述配位子含有下列通式(1)表示的有机基团RA。[化1]#imgabs0#

    一种[NOON]四齿配体第四副族金属配合物、烯烃聚合用催化剂和聚烯烃的制备方法

    公开(公告)号:CN117986290A

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202410130407.X

    申请日:2024-01-29

    摘要: 本发明涉及烯烃聚合催化剂技术领域,具体是一种[NOON]四齿配体第四副族金属配合物、烯烃聚合用催化剂和聚烯烃的制备方法。本发明提供的配合物用于催化乙烯和/或α‑烯烃的聚合能够得到高分子量和高共聚插入率的聚烯烃弹性体。本发明提供的烯烃聚合用催化剂以所述配合物为主催化剂,具有高的催化活性和聚合物结构可控性,并且助催化剂用量低,通过对催化剂取代基团和聚合条件的优化能够高活性催化乙烯与α‑烯烃共聚制备聚烯烃弹性体(POE)。在本发明的实验中,采用以本发明所述[NOON]四齿配体第四副族金属配合物为主催化剂的烯烃聚合用催化剂进行聚烯烃的制备,其插入率高达11.5mol%。

    一种改性烷基铝氧烷的制备方法及其在烯烃聚合中应用

    公开(公告)号:CN117551122A

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202311493920.7

    申请日:2023-11-09

    摘要: 本发明公开了一种改性烷基铝氧烷的制备方法:包括如下步骤:(1)将金属盐与配体反应制得含水金属化合物;(2)将含水金属化合物与稀释剂混合后填充至反应瓶中;(3)将烷基铝溶于干燥的甲苯后制得含烷基铝的甲苯溶液;(4)将含烷基铝的甲苯溶液通入反应瓶中进行反应;(5)收集反应液进行减压蒸馏,然后将蒸馏剩余物溶于干燥的甲苯后继续进行减压蒸馏,最后收集所得剩余物即可。本发明所提供的改性烷基铝氧烷的制备方法通过使用将含水金属化合物与稀释剂稀释后再与烷基铝进行水解反应,反应条件温和,操作简便,反应产率可高达65.8%。本发明所提供的改性铝氧烷还可用于催化苯乙烯聚合反应,聚合活性为:4.1×10‑6g PS(mol Ti mol S·hr)‑1。