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公开(公告)号：CN114752915A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110031127.X
申请日：2021-01-11
申请人： 宁波材料所杭州湾研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/50 , C23C16/511
摘要： 本申请公开了一种制备沉积材料的方法、化学气相沉积装置。所述制备沉积材料的方法，包括：将原料气体经过加热方式I和加热方式Ⅱ处理，即可得到所述沉积材料；其中，所述加热方式I选自低频微波加热、火焰加热、热丝加热、直流加热中的至少一种；所述加热方式Ⅱ为高频微波加热；所述低频微波加热的频率为800MHz～2.45GHz；所述高频微波加热的频率为10GHz～340GHz。所述方法通过引入高频微波加热方式加强气体等离子能量密度，从而提高化学气相沉积速率。
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公开(公告)号：CN114752915B
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202110031127.X
申请日：2021-01-11
申请人： 宁波材料所杭州湾研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/50 , C23C16/511
摘要： 本申请公开了一种制备沉积材料的方法、化学气相沉积装置。所述制备沉积材料的方法，包括：将原料气体经过加热方式I和加热方式Ⅱ处理，即可得到所述沉积材料；其中，所述加热方式I选自低频微波加热、火焰加热、热丝加热、直流加热中的至少一种；所述加热方式Ⅱ为高频微波加热；所述低频微波加热的频率为800MHz～2.45GHz；所述高频微波加热的频率为10GHz～340GHz。所述方法通过引入高频微波加热方式加强气体等离子能量密度，从而提高化学气相沉积速率。
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公开(公告)号：CN114318216B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202111476850.5
申请日：2021-12-02
申请人： 中国科学院理化技术研究所 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC分类号： C23C14/02
摘要： 本发明提供一种金刚石晶体的高结合力光学薄膜及其制备方法，该金刚石晶体的高结合力光学薄膜的制备方法包括：将金刚石晶体置于真空腔室内，并使金刚石晶体的表面达到预设温度，预设温度为200℃～1000℃；在金刚石晶体的表面平铺硅层，形成膜系结构，在膜系结构中，硅层与金刚石晶体相接触的界面处形成碳化硅层；在膜系结构的表面上镀目标膜层，形成金刚石晶体的高结合力光学薄膜。本发明实施例提供的金刚石晶体的高结合力光学薄膜及其制备方法，可将膜系结合力由范德华力变为化学键结合力，提高膜系表面结合力，提高膜系稳定性、抗损伤能力，缓解易脱落的问题。
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公开(公告)号：CN110735127B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201810789192.7
申请日：2018-07-18
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC分类号： C23C16/30
摘要： 本申请公开了一种二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法和用途，属于固体润滑材料领域。所述二硫化钼自润滑复合涂层掺杂有Sb元素和Ag元素，其中Ag元素和Sb元素在复合涂层中的金属元素中的摩尔含量分别为0.1％～2％和0.5％～5％。所述二硫化钼自润滑复合涂层的制备方法包括：将含有硫源、钼源、银源和锑源的原料置于反应容器中，在含有还原性气体的气氛中通过化学气相沉积法制备。该复合涂层可用于特别是复杂形状和大尺寸构件表面的耐磨防腐。本申请所述二硫化钼自润滑复合涂层通过同时引入Sb和Ag而使MoS2涂层组织更均匀致密，由此改善涂层的耐磨性；本申请所述制备方法可在大尺寸和复杂形状构件上实施，且对设备腐蚀性弱。
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公开(公告)号：CN111834876A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201910311832.8
申请日：2019-04-18
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要： 本申请公开了一种中红外激光器及其应用，该激光器包括：种子光源和增益介质，种子光源产生种子光入射增益介质中后出射3.75～15μm波段的高功率中红外激光。该中红外激光功率高，能连续输出，尤其是能连续输出6～8μm波段的高功率中红外激光，可在常温下工作，有利于提高中红外激光器在各个领域的应用，该中红外激光器基于光波频率变换获得中红外激光。
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公开(公告)号：CN108149220B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201611096673.7
申请日：2016-12-02
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC分类号： C23C16/30
摘要： 本发明提供了一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法。具体地，本发明的二硫化钼自润滑复合涂层中掺杂稀土元素钇，其中，所述的复合涂层中的钇元素摩尔含量为0.1％～5％，按所述复合涂层的总摩尔量计。本发明采用升华硫(S)、六水合氯化钇(YCl3·6H2O)和三氧化钼(MoO3)粉为原料，利用化学气相沉积工艺制备稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层。本发明的二硫化钼自润滑涂层具有良好的耐磨性和自润滑性，以及优异的绕镀性，可以在形状的大尺寸复杂工件上实施涂层沉积。
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公开(公告)号：CN116916547B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311187008.9
申请日：2023-09-14
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
摘要： 本发明公开了一种金刚石基封装线路板及其制备方法。所述制备方法包括：提供表面覆设有金属种子层的金刚石基体；覆设图案化掩模，其中含有树脂以及具有氧化性的玻璃粉；在暴露区域沉积金属导电层；进行热处理，以使树脂碳化形成碳化物、使覆盖区域内的金属种子层被玻璃粉氧化形成金属氧化物，以及至少使金刚石基体与金属种子层之间形成化学冶金结合，获得金刚石基封装线路板。本发明通过形成化学冶金结合来获得高结合强度的复合结构，并利用热处理步骤实现树脂掩模的碳化去除、金属种子层的氧化去除以及层间的化学冶金结合三种功效，制备过程简捷高效，能够低成本地获得具有高结合强度的图案化的金刚石基封装线路板。
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公开(公告)号：CN116604120B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310902399.1
申请日：2023-07-21
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
摘要： 本发明公开了一种基于金刚石基底的防伪标识焊印方法、装置及应用。所述焊印方法包括：提供表面具有第一微纳结构的金刚石基体；作为模板，沉积形成特征金属结构，形成第二微纳结构，第二微纳结构能够形成结构色；使特征金属结构与承印物表面抵触，并加热后冷却，以使两者能够分离，并使特征金属结构焊接至承印物表面形成防伪标识。本发明所提供的焊印方法与装置，其中的金刚石基体拥有极高的硬度、极强的化学稳定性和热稳定性，以及极高的热导率，能够起到生长模板作用并在焊印过程中起承载作用和导热作用；同时，金刚石基体和金属之间存在较大的热膨胀差异，在快速降温过程能够与特征金属结构轻松分离，完成焊印，保密性强，不易被窥探。
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公开(公告)号：CN110318030A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201810273492.X
申请日：2018-03-29
申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要： 本发明公开了一种自支撑超细纳米晶金刚石厚膜，其特征在于，所述厚膜的厚度为100-3000微米，其中1纳米≤金刚石晶粒尺寸≤20纳米。本发明采用化学气相沉积的方法，在硅基板上生长超细纳米晶金刚石，然后将硅基板与金刚石分离，获得自支撑超细纳米晶金刚石厚膜。本发明提供了一种简单、有效的化学气相沉积方法，制备了高质量超细纳米晶金刚石厚膜。
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公开(公告)号：CN114990491B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202210453601.2
申请日：2022-04-27
申请人： 宁波杭州湾新材料研究院 , 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要： 本发明公开了一种金属膜热镀覆装置和方法，其中公开的金属膜热镀覆装置，包括设有进气管和出气管的腔体，温控系统和用于控制真空度和气氛成分的气氛控制系统，所述腔体内可拆卸连接有若干个蒸镀室，所述温控系统控制各蒸镀室内的温度；所述蒸镀室包括室座，所述室座上设有用于放置蒸镀源的蒸镀源位，围绕所述蒸镀源位连续设有阻隔槽，所述阻隔槽上可拆卸连接有室盖，所述室盖内壁与室座形成样品室，所述样品室内的室座上设有用于放置待蒸镀样品的放置处；所述阻隔槽内放置有熔点低于蒸镀源工作温度的可熔融颗粒物。本发明还公开了金属膜热镀覆方法，采用前述的金属膜热镀覆装置对待蒸镀样品进行镀膜。
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