一种金刚石晶体的高结合力光学薄膜及其制备方法
摘要:
本发明提供一种金刚石晶体的高结合力光学薄膜及其制备方法,该金刚石晶体的高结合力光学薄膜的制备方法包括:将金刚石晶体置于真空腔室内,并使金刚石晶体的表面达到预设温度,预设温度为200℃~1000℃;在金刚石晶体的表面平铺硅层,形成膜系结构,在膜系结构中,硅层与金刚石晶体相接触的界面处形成碳化硅层;在膜系结构的表面上镀目标膜层,形成金刚石晶体的高结合力光学薄膜。本发明实施例提供的金刚石晶体的高结合力光学薄膜及其制备方法,可将膜系结合力由范德华力变为化学键结合力,提高膜系表面结合力,提高膜系稳定性、抗损伤能力,缓解易脱落的问题。
0/0