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公开(公告)号：CN107534088B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201680026992.2
申请日：2016-05-16
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
摘要： 本发明提供了一种形成钙钛矿膜的方法，该方法包括诱导金属卤化物和甲胺(CH3NH2)气体之间的化学反应。具体而言，该方法包括：在衬底上形成金属卤化物膜；及将金属卤化物膜接触甲胺(CH3NH2)气体以诱导金属卤化物与甲胺(CH3NH2)气体之间的化学反应，从而形成钙钛矿膜。后处理可以通过添加将钙钛矿膜依次或同时接触氢碘酸(HI)气体和甲胺(CH3NH2)气体的步骤来进行。
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公开(公告)号：CN106661729B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201580044633.5
申请日：2015-08-17
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
摘要： 提供了用于制造钙钛矿膜的系统和方法，所述系统包含用作CVD炉的壳体，其具有分别与第一温度控制单元和第二温度控制单元耦接的第一段和第二段。第一段和第二段分别基本上对应于气体的上游和下游。一个或多个基板装载在第二段中并通过第二温度控制单元控制，而含有有机卤化物材料的蒸发单元装载在第一段中并通过第一温度控制单元控制。各基板预沉积有金属卤化物材料。所述壳体的内部被抽吸降至低压。
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公开(公告)号：CN109153160A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780031415.7
申请日：2017-06-01
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
摘要： 公开了一种纳米级图案化的方法。所述方法包括：混合预定量的第一溶剂和第二溶剂以产生溶剂，所述第一溶剂和所述第二溶剂彼此不混溶；将溶质材料溶解在所述溶剂中以产生涂料，所述溶质材料在所述第一溶剂中的溶解度高于在所述第二溶剂中的溶解度；将所述涂料施加在衬底上以在所述涂料中形成多个小孔。所述多个小孔的形成与主要由所述第二溶剂构成的悬浮液滴相关，所述悬浮液滴在所述涂料中与溶解在所述第一溶剂中的所述溶质材料分离。还公开了基于上述方法制造具有纳米级图案的印模的方法。
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公开(公告)号：CN106661729A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580044633.5
申请日：2015-08-17
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
摘要： 提供了用于制造钙钛矿膜的系统和方法，所述系统包含用作CVD炉的壳体，其具有分别与第一温度控制单元和第二温度控制单元耦接的第一段和第二段。第一段和第二段分别基本上对应于气体的上游和下游。一个或多个基板装载在第二段中并通过第二温度控制单元控制，而含有有机卤化物材料的蒸发单元装载在第一段中并通过第一温度控制单元控制。各基板预沉积有金属卤化物材料。所述壳体的内部被抽吸降至低压。
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公开(公告)号：CN107615507B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201680028153.4
申请日：2016-05-06
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
IPC分类号： H01L51/48
摘要： 本发明提供一种制造钙钛矿类光电器件的方法，所述方法包括：形成包含有机金属卤化物钙钛矿的有源层；制造包含空穴输送材料(HTM)和溶剂的溶液，所述溶剂的沸点低于氯苯的沸点；以及通过在所述有源层上旋涂所述溶液形成空穴输送层(HTL)。沸点低于氯苯的所述溶剂包括氯仿和二氯甲烷。
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公开(公告)号：CN109153160B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201780031415.7
申请日：2017-06-01
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
摘要： 公开了一种纳米级图案化的方法。所述方法包括：混合预定量的第一溶剂和第二溶剂以产生溶剂，所述第一溶剂和所述第二溶剂彼此不混溶；将溶质材料溶解在所述溶剂中以产生涂料，所述溶质材料在所述第一溶剂中的溶解度高于在所述第二溶剂中的溶解度；将所述涂料施加在衬底上以在所述涂料中形成多个小孔。所述多个小孔的形成与主要由所述第二溶剂构成的悬浮液滴相关，所述悬浮液滴在所述涂料中与溶解在所述第一溶剂中的所述溶质材料分离。还公开了基于上述方法制造具有纳米级图案的印模的方法。
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公开(公告)号：CN115768917A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202180041385.4
申请日：2021-05-27
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
IPC分类号： C23C16/30 , C23C16/448 , C23C16/46 , C23C16/48 , C23C16/56 , C30B25/02 , C30B29/12 , H01L33/00 , H10K71/10
摘要： 本文描述了用于执行快速混合化学气相沉积的系统和方法。在一个实施方式中，将第一类型的前体材料沉积在基板上。基板被放置在加热装置的接受器中，该加热装置被配置为向该接受器的至少一部分提供热量。将第二类型的前体材料放置在该加热装置的该接受器中，使得该有机化合物比该基板更靠近该加热装置的气源。创建通过该加热装置的该接受器的气流。该加热部件用于导致包括该基板和该第二类型的前体材料的该接受器的一部分被加热。在该加热过程期间，该第二类型的前体材料的至少一部分被沉积在该第一类型的前体材料的至少一部分上。
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公开(公告)号：CN106463625B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201580023234.0
申请日：2015-04-10
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
摘要： 提供了一种用于制造用于太阳能电池应用的钙钛矿膜的系统和方法，该系统包括：壳体，其用作真空室；基板台，其联接至壳体的顶部；第一蒸发器单元，其联接至壳体的底部并且构造为生成BX2(金属卤化物材料)蒸汽；第二蒸发器单元，其联接至壳体并且构造为生成AX(有机材料)蒸汽；以及流动控制单元，其联接至壳体，用于控制AX蒸汽的循环。第一蒸发器单元的水平截面形状的尺寸、基板台的水平截面形状的尺寸以及两个水平截面形状之间沿水平方向的相对位置构造为最大化两个水平截面形状之间的重叠。
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公开(公告)号：CN107835867A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201680041108.2
申请日：2016-09-07
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
摘要： 提供了一种形成无Pb钙钛矿膜的方法，该方法基于真空蒸发并包括：包含Sn卤化物的第一材料在衬底上形成第一层的第一沉积；包含有机卤化物的第二材料在第一层上形成第二层以获得在衬底上顺序沉积的双层膜的第二沉积；及对衬底上的顺序沉积的双层膜进行退火。在退火过程中，第一材料和第二材料相互扩散并反应以形成无Pb钙钛矿膜。形成第二层以覆盖第一层用于防止第一层暴露于空气中。包含利用本发明的方法形成的无Pb钙钛矿膜的太阳能电池装置显示良好的稳定性。
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公开(公告)号：CN107534088A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680026992.2
申请日：2016-05-16
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
摘要： 本发明提供了一种形成钙钛矿膜的方法，该方法包括诱导金属卤化物和甲胺(CH3NH2)气体之间的化学反应。具体而言，该方法包括：在衬底上形成金属卤化物膜；及将金属卤化物膜接触甲胺(CH3NH2)气体以诱导金属卤化物与甲胺(CH3NH2)气体之间的化学反应，从而形成钙钛矿膜。后处理可以通过添加将钙钛矿膜依次或同时接触氢碘酸(HI)气体和甲胺(CH3NH2)气体的步骤来进行。
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