用于制造钙钛矿膜的基于低压化学气相沉积的系统和方法
摘要:
提供了用于制造钙钛矿膜的系统和方法,所述系统包含用作CVD炉的壳体,其具有分别与第一温度控制单元和第二温度控制单元耦接的第一段和第二段。第一段和第二段分别基本上对应于气体的上游和下游。一个或多个基板装载在第二段中并通过第二温度控制单元控制,而含有有机卤化物材料的蒸发单元装载在第一段中并通过第一温度控制单元控制。各基板预沉积有金属卤化物材料。所述壳体的内部被抽吸降至低压。
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