用于产生物理效应的微机电装置

    公开(公告)号:CN105612764A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201480048798.5

    申请日:2014-09-08

    Abstract: 一种用于产生物理效应的微机电装置,包括移动元件的阵列,每个移动元件通过与至少一个压电构件相关联的至少一个挠曲件耦合到机械支撑件,至少一个压电构件可操作来因施加到压电构件的电场而发生应变,从而弯曲压电构件所耦合到的挠曲件;电线,其包括电极组,其中,电极组中的每个电极被耦合到所述压电构件中的至少一个;其中,所述电线可操作以将不同系列的电场同时传送到不同的压电构件,从而可控制地诱导所述阵列的移动元件的运动以用于创建物理效应;以及运动限制机构,其用于在所述移动元件中的每个移动元件通过相应的挠曲件和压电构件进行致动时维持所述移动元件中的每个移动元件的最大运动距离。

    用于产生物理效应的微机电装置

    公开(公告)号:CN105612764B

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201480048798.5

    申请日:2014-09-08

    Abstract: 一种用于产生物理效应的微机电装置,包括移动元件的阵列,每个移动元件通过与至少一个压电构件相关联的至少一个挠曲件耦合到机械支撑件,至少一个压电构件可操作来因施加到压电构件的电场而发生应变,从而弯曲压电构件所耦合到的挠曲件;电线,其包括电极组,其中,电极组中的每个电极被耦合到所述压电构件中的至少一个;其中,所述电线可操作以将不同系列的电场同时传送到不同的压电构件,从而可控制地诱导所述阵列的移动元件的运动以用于创建物理效应;以及运动限制机构,其用于在所述移动元件中的每个移动元件通过相应的挠曲件和压电构件进行致动时维持所述移动元件中的每个移动元件的最大运动距离。

    移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法

    公开(公告)号:CN105049992B

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201510310291.9

    申请日:2011-03-10

    Abstract: 本发明涉及移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法,该致动器包括:至少一个致动器装置,每一个致动器装置包括:一个移动元件阵列,其中每一单独的移动元件操作而受约束以响应于作用其上的一个单独的第一静电力而沿着一条对应轴线来回交替地行进,其中每一个移动元件具有一个静止位置并且仅被该第一静电力驱动远离其静止位置;以及至少一个电极,该至少一个电极操作以对来自该移动元件阵列当中的至少一个单独的移动元件施加一个受控的电位差时间序列,从而可选择地产生该第一静电力;以及一个控制器,该控制器操作以接收该数字输入信号,并且控制该至少一个电极和该单独的移动元件中的至少一者以施加该电位差序列。

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