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公开(公告)号：CN118173595A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410126598.2
申请日：2024-01-30
IPC分类号： H01L29/778 , H01L29/423 , H01L29/51 , H01L21/335
摘要： 倒T型复合栅介质结构氮化镓HEMT器件及其制备方法，属于半导体器件领域，包括如下步骤：S1、衬底准备；S2、外延生长；S3、台面刻蚀与源/漏区欧姆接触电极制备；S4、栅极区域刻蚀；S5、第一介质层制备；S6、叠层栅介质层沉积；S7、栅电极制备；S8、器件钝化层沉积与电极开口。本发明提出势垒层浅刻蚀形成凹栅结构，对凹栅剩余势垒层及侧壁进行充分氧化处理形成第一层氧化物介质，保留在高真空腔体内部继续生长叠层介质，从而形成致密的倒T型复合栅介质结构。本发明保留二维电子气沟道界面、倒T型复合介质两侧拐角与栅区半导体天然紧密接触且形成过程完全保持在系统高真空环境内未受环境污染，因此提高了器件的阈值电压、栅区耐压以及可靠性。
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公开(公告)号：CN113488433B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202110670495.9
申请日：2021-06-17
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明提供了一种漏斗型氮化镓纳米线及其制备方法，涉及纳米材料技术领域。本发明提供的漏斗型氮化镓纳米线的制备方法，在反应器内将镓源、氨气在负载有特定厚度催化剂的衬底上进行第一次化学气相沉积，在高镓源/氨气气流比条件下使得纳米线按照VLS模式和VS混合模式生长，制备得到了顶端带有催化剂颗粒的棱锥状纳米线；然后改变化学气相沉积条件，在低镓源/氨气气流比条件下，利用纳米线顶端的催化剂实现VLS生长，在棱锥状纳米线顶端继续生长出圆柱状纳米线，制备得到漏斗型氮化镓纳米线。本发明的制备方法简单快捷，打破了氮化镓纳米线单一的形态结构。
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公开(公告)号：CN117990239A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311797099.8
申请日：2023-12-26
申请人： 大连理工大学 , 沈阳仪表科学研究院有限公司
IPC分类号： G01L1/14 , A61B5/02 , A61B5/00 , C08G75/045
摘要： 一种具备监测各种生理特征功能的离子凝胶压力传感器件及其制备方法，属于压力传感器领域，所述制备方法包括如下步骤：步骤1.将二乙烯苯与四(3‑巯基丙酸)季戊四醇酯(PETMP)在室温下加入到甲醇和四氢呋喃中混合成溶液；步骤2.在溶液中加入一定量的聚离子液体与安息香二甲醚；步骤3.采用紫外光照的方法对凝胶溶液进行处理；步骤4.将模具里凝固好的凝胶脱模；步骤5.将不规整的凝胶边框裁剪整齐；步骤6.将离子凝胶进行封装。该压力传感器件在不同压力下表现出良好的灵敏度与相应时间，并且该元件可以很好地用于脉搏，吞咽等动作的检测。
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公开(公告)号：CN112842309A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110015890.3
申请日：2021-01-07
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： A61B5/024
摘要： 基于光反射识别的高空间分辨率心脏振动检测方法，其特征在于：将反光薄膜贴在心脏部位的皮肤表面，其中反光薄膜由众多的反光阵元构成；心脏振动会引起每个反光阵元发生变化；利用光束照射反光薄膜，并通过拍摄测量每个反光阵元的变化量，从而获知不同部位的心脏振动情况。相较于以往的心脏振动采集方法，本发明具有空间分辨率高、敏感度高，以及实时性好的优点，可以实时、全面、灵敏地检测人体心脏的振动情况。
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公开(公告)号：CN110116987A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201910440024.1
申请日：2019-05-24
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明属于半导体纳米线器件技术领域，提供了一种半导体纳米线传感器，在具有导电层的绝缘衬底上制备具有特定深宽比的凹槽结构，使凹槽两侧的导电层相互隔绝；然后在凹槽底部设置表面改性层，覆盖凹槽底部；接着在导电层侧壁生长纳米线，使纳米线桥接凹槽两侧的导电层，同时该生长过程也会在凹槽内产生沉积物。通过设计凹槽的深宽比以及引入表面改性层，可以减少或消除凹槽底部的沉积物，从而消除桥接纳米线的旁路电流。此外，利用桥接纳米线的多次生长，可以提高纳米线的桥接几率、总表面积以及生长可控程度。本发明解决了现有桥接纳米线生长过程中凹槽内的沉积物问题，提高了纳米线传感器的电学特性。
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公开(公告)号：CN107167906B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201710314843.2
申请日：2017-05-09
申请人： 大连理工大学
摘要： 一种微液滴透镜的超分辨率显微成像装置及方法，可用于水质环境监测及生物医学诊断领域。本发明以智能手机或普通个人电脑为观测平台，将光学显微镜与液相微量注射器结合在一起，通过液相微量注射器来调节用于对待测样品放大显示的液滴微透镜的体积大小，从而调节微透镜的放大倍数，以达到进一步的提高分辨率的效果。另外可以结合观测者需要将对图像进行增强显示的算法嵌入观测平台，满足各类应用环境需求。本系统具有良好的生物医学检测应用前景，可以用于在光学显微镜平台下克服传统显微镜衍射极限。
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公开(公告)号：CN107167906A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710314843.2
申请日：2017-05-09
申请人： 大连理工大学
CPC分类号： G02B21/0004 , G01N21/01 , G02B21/06 , G02B21/36
摘要： 一种微液滴透镜的超分辨率显微成像装置及方法，可用于水质环境监测及生物医学诊断领域。本发明以智能手机或普通个人电脑为观测平台，将光学显微镜与液相微量注射器结合在一起，通过液相微量注射器来调节用于对待测样品放大显示的液滴微透镜的体积大小，从而调节微透镜的放大倍数，以达到进一步的提高分辨率的效果。另外可以结合观测者需要将对图像进行增强显示的算法嵌入观测平台，满足各类应用环境需求。本系统具有良好的生物医学检测应用前景，可以用于在光学显微镜平台下克服传统显微镜衍射极限。
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公开(公告)号：CN106772993A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611040531.9
申请日：2016-11-22
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： G02B21/36
CPC分类号： G02B21/361 , G02B21/365
摘要： 本发明提供了一种基于智能手机与锥形光纤阵列耦合成像的显微装置及方法，属于生物医学检测领域。设计一种高分辨率、便携式的显微成像装置，以及用于进一步图像增强显示的处理方法。本发明可广泛应用于生物医学中血液细胞病理检测，进一步的可以实现高清成像，视频跟踪样本形态，以及克服传统光学显微镜体积庞大、对焦繁琐、图像传输步骤复杂等缺陷，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN117987776A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311794988.9
申请日：2023-12-25
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： C23C14/08 , G01N27/12 , C23C14/35 , C23C14/58 , C30B29/16 , C30B33/02 , C30B33/10 , C23C14/18 , C23C14/04
摘要： 一种用湿法腐蚀增强氧化镓多晶薄膜气敏性能的方法，属于半导体气敏传感器领域。所述制备方法包括如下步骤：步骤1.使用磁控溅射机在二氧化硅片上溅射氧化镓薄膜；步骤2.采用热退火的方法使氧化镓薄膜转变为多晶薄膜；步骤3.采用湿法腐蚀的方法在氧化镓多晶薄膜上形成纳米凹坑并嫁接高能悬挂键；步骤4.采用光刻显影的方法在氧化镓薄膜上产生叉指电极区域；步骤5.使用磁控溅射机在氧化镓薄膜上溅射Ti/Pt电极；步骤6.使用丙酮溶液超声浸泡以去除光刻胶。以该材料作为敏感材料制备的氧化镓气敏元件，该元件在300ppm氨气浓度下灵敏度可达25％，并且该元件对氨气有着高敏选择性。
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