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公开(公告)号：CN101178545A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200710142601.6
申请日：2007-08-15
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor： 井上正雄
CPC classification number: G03F7/70391 , G03F9/7046 , G03F9/7076 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种以一次拍摄就能够检测出被检测物的位置的技术。图案绘制装置在成为处理对象的基板(9)上，作为定位区域(92)的规定范围内集中形成有多个定位标记(60)，这些定位标记为分别记录了基板(9)上的基准位置与自身之间的相对位置的信息记录码。在定位基板(9)时，由于拍摄这样集中着多个定位标记(60)的定位区域(92)而取得图像，所以即使将拍摄倍率设定为高倍率而缩小拍摄范围，也能够将多个定位标记(60)的某一个包含在图像之中。而且，作为像而包含在该图像中的一个定位标记(60)被设定为注视标记，根据图像中的注视标记导出基板(9)的位置，从而通过一次拍摄就能够检测出基板(9)的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101187781A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200710154365.X
申请日：2007-09-26
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够缓解在扫描区域的连接点产生的不均的图形描绘装置。在该图形描绘装置中，通过向主扫描方向上的多次曝光扫描来进行图形描绘。在先行的曝光扫描和后续的曝光扫描之间，曝光头相对基板(9)在副扫描方向上相对移动的幅度(h)比一个扫描区域(As)在副扫描方向上的幅度(w)短。由此，通过先行的曝光扫描和后续的曝光扫描，使扫描区域As的一部分重复。因此，在毗邻的扫描区域As的连接点形成了实施过先行的曝光扫描和后续的曝光扫描两次曝光扫描的重复范围(B1)。在重复范围B1内，由于能够使曝光头两端部的不均匀特性的影响混匀平整，所以能够缓解在扫描区域As的连接点产生的不均。
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公开(公告)号：CN101178545B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200710142601.6
申请日：2007-08-15
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor： 井上正雄
CPC classification number: G03F7/70391 , G03F9/7046 , G03F9/7076 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种以一次拍摄就能够检测出被检测物的位置的技术。图案绘制装置在成为处理对象的基板(9)上，作为定位区域(92)的规定范围内集中形成有多个定位标记(60)，这些定位标记为分别记录了基板(9)上的基准位置与自身之间的相对位置的信息记录码。在定位基板(9)时，由于拍摄这样集中着多个定位标记(60)的定位区域(92)而取得图像，所以即使将拍摄倍率设定为高倍率而缩小拍摄范围，也能够将多个定位标记(60)的某一个包含在图像之中。而且，作为像而包含在该图像中的一个定位标记(60)被设定为注视标记，根据图像中的注视标记导出基板(9)的位置，从而通过一次拍摄就能够检测出基板(9)的位置。
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公开(公告)号：CN100570486C
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200510004307.X
申请日：2005-01-14
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种图形描绘装置(1)，包括：保持基板(9)的平台单元(3)；在X方向上移动平台单元(3)的平台移动机构(2)；水银灯(512)；具有光闸开口的光闸；具有多个掩模组开口的掩模组；在X方向上移动光闸的X方向移动机构，扫描通过了光闸开口和掩模组开口的光被引导到的光照射区域而描绘图形。在图形描绘装置(1)中，在图形的描绘开始点附近和描绘结束点附近，按照与平台单元(3)的移动速度相等的移动速度，在X方向上移动光闸，改变光照射区域的长度，调整图形的端部的累积光量，使之与图形上的其他部位的累积光量相等。
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公开(公告)号：CN101178546A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200710148799.9
申请日：2007-09-11
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor： 井上正雄
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 图案描画装置将具有多个扫描对象区域的基板作为处理对象时，可降低曝光扫描次数。图案描画装置使多个曝光头相对基板沿主扫描方向和副扫描方向相对移动，由此进行沿主扫描方向的曝光扫描，该沿主扫描方向的曝光扫描分别对从基板的开始位置(Ps)起在副扫描方向上以规定宽度(w)所规定的多个扫描区域(As)承担曝光扫描。根据规定宽度、间隙端距离(La)及间隙宽度(Ld)，以使相邻的扫描区域边界中的任一边界位于间隙区域中的方式决定开始位置。因此，在一个扫描区域中不会包含两个扫描对象区域的一部分。其结果，即使将具有多个扫描对象区域的基板作为处理对象，也无需对同一个扫描区域进行两次曝光扫描，故能够降低曝光扫描次数。
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公开(公告)号：CN1652028A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510004307.X
申请日：2005-01-14
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种图形描绘装置(1)，包括：保持基板(9)的平台单元(3)；在X方向上移动平台单元(3)的平台移动机构(2)；水银灯(512)；具有光闸开口的光闸；具有多个掩模组开口的掩模组；在X方向上移动光闸的X方向移动机构，扫描通过了光闸开口和掩模组开口的光被引导到的光照射区域而描绘图形。在图形描绘装置(1)中，在图形的描绘开始点附近和描绘结束点附近，按照与平台单元(3)的移动速度相等的移动速度，在X方向上移动光闸，改变光照射区域的长度，调整图形的端部的累积光量，使之与图形上的其他部位的累积光量相等。
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