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公开(公告)号:CN106062973B
公开(公告)日:2018-05-04
申请号:CN201580012504.8
申请日:2015-04-03
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L31/0747
CPC classification number: H01L31/075 , H01L31/022441 , H01L31/03762 , H01L31/0747 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 提供一种光电转换装置,能够抑制p层或者n层的掺杂物向相邻的层扩散。光电转换装置(1)具备硅基板(10)、形成于硅基板(10)的一个面并且实质上是本征的本征非晶质层(11)以及形成于本征非晶质层(11)上的第1导电类型非晶质层(12)。第1导电类型非晶质层(12)包括第1浓度层(121)和层叠于第1浓度层(121)的第2浓度层(122)。第2浓度层(122)的掺杂物浓度是8×1017cm‑3以上且低于第1浓度层的掺杂物浓度。
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公开(公告)号:CN107710420B
公开(公告)日:2020-02-04
申请号:CN201680035963.2
申请日:2016-02-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0747
Abstract: 在光电转换装置(1)中,在半导体基板(101)的一个面侧交替地配置有第一非晶质半导体部(102n)和第二非晶质半导体部(102p)。在第一非晶质半导体部(102n)和第二非晶质半导体部(102p)分别配置有至少一个第一非晶质半导体层(1020n)和第二非晶质半导体层(1020p)。在一个第一非晶质半导体层(1020n)之上,间隔地配置有多个第一电极(103n),在一个第二非晶质半导体层(1020p)之上,间隔地配置有多个第二电极(103p)。
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公开(公告)号:CN108028290B
公开(公告)日:2019-09-03
申请号:CN201680052868.3
申请日:2016-08-30
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L31/0747
Abstract: 本发明提供抑制硼的扩散,并能使转换效率提高的光电转换元件及光电转换模块。光电转换元件(10)包括:半导体基板(1);在半导体基板(1)上形成的本征非晶态半导体层(3);在本征非晶态半导体层(3)上形成的包含磷作为掺杂物的n型非晶态半导体层(4);以及在面内方向上与n型非晶态半导体层(4)相邻地形成的包含硼作为掺杂物的p型非晶态半导体层(5)。n型非晶态半导体层(4)在与p型非晶态半导体层(5)相邻的面具有膜厚减少区域TD(n),p型非晶态半导体层(5)在与n型非晶态半导体层(4)相邻的面具有膜厚减少区域TD(p)。p型非晶态半导体层(5)的膜厚减少区域TD(p)的倾斜角度比n型非晶态半导体层(4)的膜厚减少区域TD(n)的倾斜角度更陡峭。
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公开(公告)号:CN103210494A
公开(公告)日:2013-07-17
申请号:CN201180054303.6
申请日:2011-11-02
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 国吉督章
IPC: H01L29/786 , G02F1/1368 , H01L27/146
CPC classification number: G02F1/133345 , G02F1/136209 , G02F1/1368 , G02F2001/136231 , G02F2201/34 , G02F2203/02 , G02F2203/055 , H01L29/66765 , H01L29/78633 , H01L29/78669 , H01L29/7869
Abstract: 薄膜晶体管基板(20a)包括:绝缘基板(10a);设置在绝缘基板(10a)上、具有沟道区域(C)的半导体层(13a);和设置在沟道区域(C)的沟道保护层(25)。沟道保护层(25)由第一绝缘膜和第二绝缘膜交替地叠层而得的叠层膜形成,在设第一绝缘膜的折射率为Ra、第二绝缘膜的折射率为Rb的情况下,Rb/Ra≥1.3的关系成立。
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公开(公告)号:CN102822777A
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:CN201180016744.7
申请日:2011-03-16
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G06F3/041 , G02F1/1333 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , G09F9/00 , G09F9/30
CPC classification number: G02F1/13338 , G06F3/0414 , G06F2203/04103
Abstract: 本发明的液晶显示装置(100)包括:具有第一主表面的玻璃基板(140);与玻璃基板(140)隔开间隔配置的玻璃基板(156);填充在玻璃基板(156)与玻璃基板(140)之间的液晶层(160);形成在第一主表面上的开关元件;配置在第一主表面与第二主表面之间的下部电极(172);与下部电极(172)隔开间隔配置在比下部电极(172)更靠第二主表面侧的位置,并且以与下部电极(172)相对的方式配置的上部电极(171);和能够检测由上部电极(171)和下部电极(172)规定的电信号的检测部,该液晶显示装置(100)中,通过按压玻璃基板(156),上部电极(171)和下部电极(172)中的至少一方能够沿另一方变形。
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公开(公告)号:CN107532289B
公开(公告)日:2020-06-23
申请号:CN201680022950.1
申请日:2016-02-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: C23C14/50 , C23C14/04 , C23C16/04 , C23C16/44 , H01L21/205
Abstract: 在基板形成薄膜的成膜方法,具有紧贴工序、外力去除工序及成膜工序。紧贴工序(工序B)将紧贴用部件(31)以接触于基板(30)的一面的方式重叠,在向基板(30)与紧贴用部件(31)重合的方向施加外力的状态下,将基板(30)与紧贴用部件(31)置于真空下。外力去除工序(工序C)在大气压下或真空下将外力去除。成膜工序(工序E)在基板(30)的一面或另一面上形成薄膜。
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公开(公告)号:CN108028290A
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:CN201680052868.3
申请日:2016-08-30
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L31/0747
Abstract: 本发明提供抑制硼的扩散,并能使转换效率提高的光电转换元件及光电转换模块。光电转换元件(10)包括:半导体基板(1);在半导体基板(1)上形成的本征非晶态半导体层(3);在本征非晶态半导体层(3)上形成的包含磷作为掺杂物的n型非晶态半导体层(4);以及在面内方向上与n型非晶态半导体层(4)相邻地形成的包含硼作为掺杂物的p型非晶态半导体层(5)。n型非晶态半导体层(4)在与p型非晶态半导体层(5)相邻的面具有膜厚减少区域TD(n),p型非晶态半导体层(5)在与n型非晶态半导体层(4)相邻的面具有膜厚减少区域TD(p)。p型非晶态半导体层(5)的膜厚减少区域TD(p)的倾斜角度比n型非晶态半导体层(4)的膜厚减少区域TD(n)的倾斜角度更陡峭。
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公开(公告)号:CN107667435A
公开(公告)日:2018-02-06
申请号:CN201680028567.7
申请日:2016-02-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L31/0216 , H01L31/075
Abstract: 光电转换装置(1)具备以与半导体基板(101)的一个面相接的方式形成的i型非晶质半导体层(102i)、分隔而配置于i型非晶质半导体层(102i)上的p型非晶质半导体层(102p)与分隔而配置于i型非晶质半导体层(102i)上,且于半导体基板(101)的面内方向邻接于p型非晶质半导体层(102p)而形成的n型非晶质半导体层(102n)。进而,光电转换装置(1)具备电极(103)作为保护层,所述保护层是以在邻接的p型非晶质半导体层(102p)之间及邻接的n型非晶质半导体层(102n)之间与i型非晶质半导体层(102i)相接的方式形成。
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公开(公告)号:CN107532289A
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201680022950.1
申请日:2016-02-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: C23C14/50 , C23C14/04 , C23C16/04 , C23C16/44 , H01L21/205
Abstract: 在基板形成薄膜的成膜方法,具有紧贴工序、外力去除工序及成膜工序。紧贴工序(工序B)将紧贴用部件(31)以接触于基板(30)的一面的方式重叠,在向基板(30)与紧贴用部件(31)重合的方向施加外力的状态下,将基板(30)与紧贴用部件(31)置于真空下。外力去除工序(工序C)在大气压下或真空下将外力去除。成膜工序(工序E)在基板(30)的一面或另一面上形成薄膜。
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公开(公告)号:CN105679846B
公开(公告)日:2017-12-08
申请号:CN201510856132.9
申请日:2015-11-30
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0747
CPC classification number: H01L31/03529 , H01L31/022433 , H01L31/022441 , H01L31/02363 , H01L31/0376 , H01L31/0747 , H01L31/20 , Y02E10/50
Abstract: 本发明提供一种光电转换装置,即使减小n型半导体层上的电极与p型半导体层上的电极的间隔,pn结也不易短路。光电转换装置具备在半导体基板(101)的背面形成的n型非晶态半导体层(102n)和p型非晶态半导体层(102p)。另外,在n型非晶态半导体层(102n)和p型非晶态半导体层(102p)中的至少一个半导体层上,形成相间隔地配置的多个电极(103)。在多个电极(103)的表面形成导电部(302),通过导电部(302)将多个电极(103)电连接。
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