公开(公告)号：CN1812134A

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：CN200510111068.8

申请日：2005-12-01

Applicant: 复旦大学

Inventor： 王云涛 ,  张昕 ,  吴晓京

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0296 ,  H01L29/22 ,  H01L21/205 ,  C23C16/448 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明属功能材料技术领域，具体为一种p型/n型氧化锌薄膜及其制备方法。该薄膜的制备过程是：采用硅(100)作为基底，将其在一水平放置的石英管中加热到设定温度，在将盛有醋酸锌的陶瓷舟推入石英管加热，使其挥发分解，利用空气作为载运气体，将醋酸锌蒸汽输运至硅基底，使其分解沉积成膜。此方法制备的ZnO薄膜具有高载流子浓度，低电阻率特性，且可以通过温度控制，选择制备p型或n型薄膜。

公开(公告)号：CN100428495C

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：CN200510111068.8

申请日：2005-12-01

Applicant: 复旦大学

Inventor： 王云涛 ,  张昕 ,  吴晓京

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0296 ,  H01L29/22 ,  H01L21/205 ,  C23C16/448 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明属功能材料技术领域，具体为一种p型/n型氧化锌薄膜及其制备方法。该薄膜的制备过程是：采用硅(100)作为基底，将其在一水平放置的石英管中加热到设定温度，在将盛有醋酸锌的陶瓷舟推入石英管加热，使其挥发分解，利用空气作为载运气体，将醋酸锌蒸汽输运至硅基底，使其分解沉积成膜。此方法制备的ZnO薄膜具有高载流子浓度，低电阻率特性，且可以通过温度控制，选择制备p型或n型薄膜。