一种无损的测定原子力显微镜探针形状参数的方法

    公开(公告)号:CN101256070A

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:CN200810036160.6

    申请日:2008-04-17

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于测量技术领域,具体为一种无损伤的测定原子力显微镜探针形态参数的方法。通过用待测探针分别扫描分散状聚苯乙烯微球和密排状聚苯乙烯微球,获取一定参数后,用扫描时探针和微球的几何关系所确定的方程式来计算即可求得待测探针的针尖曲率半径r和锥角θ。本发明还阐述了微球样品的制备方法。本发明操作简单,花费的成本与时间少,测试精度高,结果可靠。

    一种无损的测定原子力显微镜探针形状参数的方法

    公开(公告)号:CN101256070B

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN200810036160.6

    申请日:2008-04-17

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于测量技术领域,具体为一种无损伤的测定原子力显微镜探针形态参数的方法。通过用待测探针分别扫描分散状聚苯乙烯微球和密排状聚苯乙烯微球,获取一定参数后,用扫描时探针和微球的几何关系所确定的方程式来计算即可求得待测探针的针尖曲率半径r和锥角θ。本发明还阐述了微球样品的制备方法。本发明操作简单,花费的成本与时间少,测试精度高,结果可靠。

    一种扫描探针显微镜三维校准用胶体球标样的制备方法

    公开(公告)号:CN101256133A

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:CN200810036162.5

    申请日:2008-04-17

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于扫描探针显微镜技术领域,具体为一种扫描探针显微镜三维校准用胶体球标样的制备方法。本发明采用改进的垂直沉积方法,将一片新鲜解离的云母基片垂直插入适当浓度的单分散胶体球溶液中,将垂直沉积系统置入恒温恒湿箱中,严格控制箱内温度和湿度,直至溶液完全挥发,即可获得类光栅状单层有序密排胶体球标样,该标样可用于扫描探针显微镜X、Y和Z方向压电扫描管的校准。

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