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公开(公告)号：CN115274888B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202210955393.6
申请日：2022-08-10
IPC: H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种光子筛选型太赫兹超导纳米线探测器及其探测方法，该探测器包括自上而下依次设置的超导纳米线耦合光栅层、介质层和金属层，超导纳米线耦合光栅层包括用于耦合多种目标太赫兹光子的子光栅结构，子光栅结构用于分别耦合增强和吸收不同光子的近场光强，并分别对应输出产生的光电信号；介质层用于传导太赫兹光子，并配合超导纳米线耦合光栅层和金属层，以形成超材料完美吸收体微腔，用于束缚光场；金属层用于全反射目标太赫兹光子。与现有技术相比，本发明能够实现对多光子在单像元区域的高效高灵敏度同步探测，突破了对每种单一光子探测效率小于1/n极限，具有无需分光优势，无需对多种光子进行单独的光路校准，应用便捷可靠。
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公开(公告)号：CN115274888A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210955393.6
申请日：2022-08-10
IPC: H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种光子筛选型太赫兹超导纳米线探测器及其探测方法，该探测器包括自上而下依次设置的超导纳米线耦合光栅层、介质层和金属层，超导纳米线耦合光栅层包括用于耦合多种目标太赫兹光子的子光栅结构，子光栅结构用于分别耦合增强和吸收不同光子的近场光强，并分别对应输出产生的光电信号；介质层用于传导太赫兹光子，并配合超导纳米线耦合光栅层和金属层，以形成超材料完美吸收体微腔，用于束缚光场；金属层用于全反射目标太赫兹光子。与现有技术相比，本发明能够实现对多光子在单像元区域的高效高灵敏度同步探测，突破了对每种单一光子探测效率小于1/n极限，具有无需分光优势，无需对多种光子进行单独的光路校准，应用便捷可靠。
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公开(公告)号：CN114203837A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111332599.5
申请日：2021-11-11
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/112
Abstract: 本发明涉及一种光子筛选型太赫兹光晶体管及其多光子探测方法，包括由上至下依次相对设置的耦合光栅层、光敏浮栅层和沟道层，耦合光栅层包括多个用于耦合增强不同目标太赫兹光子的子光栅，光敏浮栅层用于对应吸收经子光栅结构耦合增强后的光子，以改变电化学势、进而改变沟道层的电导，沟道层的一端连接至源极，沟道层的另一端连接至漏极。其中，耦合光栅层将不同太赫兹光子在其超元胞周期内空间上筛选区分，进而耦合到对应的太赫兹光敏浮栅区域，不同光子对应的光信号则根据光晶体管的源漏电流中读取出。与现有技术相比，本发明能够突破对每种单一光子探测效率小于1/n的极限，实现多光子同步高灵敏检测的目的。
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公开(公告)号：CN105304755B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510715266.9
申请日：2015-10-29
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0352 , H01L31/101
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明属于光波探测技术领域，具体为一种电学调控增强半导体量子阱红外光探测器响应率的方法。所述探测器包含两层量子阱材料，其中一层较薄靠近表面的量子阱中有两个能级，为吸光区域，另一层较厚量子阱在下方，通过感应吸光区域电荷变化来进行光探测。两层量子阱夹层的能带结构通过掺杂不同浓度粒子的方式形成势能渐变层，由上层到下层势能缓变降低。该器件通过在重置光栅上施加脉冲来实现器件的重置。本发明通过在耦合光栅施加一种与重置脉冲相配合的脉冲波，来动态调控上层量子阱的能带变化，以此增强探测器的光响应率。
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公开(公告)号：CN102593201A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110399778.0
申请日：2011-12-06
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/101 , B82Y20/00
Abstract: 本发明属于光探测技术领域，具体为一种基于表面等离子体微腔的多色量子阱光子探测器件。该探测器包括一层亚波长孔阵列结构的金属膜和一层完好的金属膜组成的微腔；微腔中填塞两种或两种以上量子阱层，分别对应探测波长，量子阱具有一定的载流子浓度，并至少具有两个能级；不同量子阱层中间存在内部电极供接入电路使用；一定频谱宽度入射光波垂直或倾斜于孔阵列金属膜入射，激发该孔阵列金属膜/量子阱界面的表面等离子体，表面等离子体被捕获于微腔中，被微腔中的量子阱吸收并发生子带跃迁过程，跃迁的电子在外加偏压下形成电流信号。本发明相对单层金属孔阵列耦合的光子探测器，探测效率提高数倍，并能够对多波长的多色同时探测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115692522B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202110849095.4
申请日：2021-07-27
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/0352 , H01L31/0232 , H01L31/101 , G01J1/16
Abstract: 本发明涉及一种双色量子阱红外探测器，包括上下相对设置的下层量子阱和上层量子阱，下层量子阱的两端分别连接至源极和漏极，上层量子阱表面设置有金属耦合光栅，金属耦合光栅连接有电脉冲发生器，上层量子阱用于吸收中波长的红外光，下层量子阱用于吸收长波长的红外光以及感应上、下层量子阱的电荷变化，电脉冲发生器用于输出不同方向和幅值的重置脉冲以施加在金属耦合光栅上。与现有技术相比，本发明通过在耦合光栅上施加不同方向和幅度的重置脉冲，来动态调控上层量子阱的势能变化、控制下层量子阱导电通道感应不同吸光区域的电荷变化，以对不同波段的光进行探测，本发明制备工艺和材料生长更为简化，有利于促进双色红外量子阱探测器的发展。
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公开(公告)号：CN116698780A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310719589.X
申请日：2023-06-16
Applicant: 复旦大学义乌研究院
IPC: G01N21/3563 , G01N21/01 , G01N1/28 , G01N1/44
Abstract: 本发明属于光学无损探测技术领域，具体为一种双波段锁相红外显微镜系统。本发明显微镜系统包括：双波段红外探测器、红外光学镜头、样品位移台、信号发生器或斩波器、信号放大电路、锁相放大器和计算机系统等；双波段红外探测器由两个探测波段不重叠的探测器或单个有双波段响应的探测器组成；红外光学镜头是一个优化的红外聚焦镜片组，位于样品位移台和双波段红外探测之间；样品的红外辐射通过红外光学镜头聚焦到双波段红外探测器上；信号发生器或斩波器对样品信号进行调制；本显微镜系统可以在不同波段上探测半导体器件的热点辐射的幅值和相位信息，给出绝对温度并分析样品中的热扩散行为和热传导，在半导体器件分析中具有重要作用。
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公开(公告)号：CN115692522A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202110849095.4
申请日：2021-07-27
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/0352 , H01L31/0232 , H01L31/101 , G01J1/16
Abstract: 本发明涉及一种双色量子阱红外探测器，包括上下相对设置的下层量子阱和上层量子阱，下层量子阱的两端分别连接至源极和漏极，上层量子阱表面设置有金属耦合光栅，金属耦合光栅连接有电脉冲发生器，上层量子阱用于吸收中波长的红外光，下层量子阱用于吸收长波长的红外光以及感应上、下层量子阱的电荷变化，电脉冲发生器用于输出不同方向和幅值的重置脉冲以施加在金属耦合光栅上。与现有技术相比，本发明通过在耦合光栅上施加不同方向和幅度的重置脉冲，来动态调控上层量子阱的势能变化、控制下层量子阱导电通道感应不同吸光区域的电荷变化，以对不同波段的光进行探测，本发明制备工艺和材料生长更为简化，有利于促进双色红外量子阱探测器的发展。
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公开(公告)号：CN102593201B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201110399778.0
申请日：2011-12-06
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/101 , B82Y20/00
Abstract: 本发明属于光探测技术领域，具体为一种基于表面等离子体微腔的多色量子阱光子探测器件。该探测器包括一层亚波长孔阵列结构的金属膜和一层完好的金属膜组成的微腔；微腔中填塞两种或两种以上量子阱层，分别对应探测波长，量子阱具有一定的载流子浓度，并至少具有两个能级；不同量子阱层中间存在内部电极供接入电路使用；一定频谱宽度入射光波垂直或倾斜于孔阵列金属膜入射，激发该孔阵列金属膜/量子阱界面的表面等离子体，表面等离子体被捕获于微腔中，被微腔中的量子阱吸收并发生子带跃迁过程，跃迁的电子在外加偏压下形成电流信号。本发明相对单层金属孔阵列耦合的光子探测器，探测效率提高数倍，并能够对多波长的多色同时探测。
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公开(公告)号：CN102610700A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210097293.0
申请日：2012-04-05
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明属于太阳能技术领域，具体为一种制作柔性薄膜太阳能电池方法。其具体步骤为：首先在硬质材料衬底上，制备牺牲层，在牺牲层上生长薄膜太阳能电池。再将卷出料卷中的柔性材料衬底卷出并同薄膜太阳能电池粘合。然后对粘合后的夹层结构进行喷淋，使牺牲层溶解在喷淋液体中，喷淋后薄膜太阳能电池从牺牲层处与硬质材料衬底分离，形成依附于柔性材料衬底上的薄膜太阳能电池层结构。最后将薄膜太阳能电池卷入卷取料卷并剪裁。本发明既有利于制作高效率、高稳定的薄膜太阳能电池，又发挥了卷对卷生产方式的连续性，且制造成本低、设备简单，适合大规模生产。
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