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公开(公告)号：CN116698780A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310719589.X
申请日：2023-06-16
Applicant: 复旦大学义乌研究院
IPC: G01N21/3563 , G01N21/01 , G01N1/28 , G01N1/44
Abstract: 本发明属于光学无损探测技术领域，具体为一种双波段锁相红外显微镜系统。本发明显微镜系统包括：双波段红外探测器、红外光学镜头、样品位移台、信号发生器或斩波器、信号放大电路、锁相放大器和计算机系统等；双波段红外探测器由两个探测波段不重叠的探测器或单个有双波段响应的探测器组成；红外光学镜头是一个优化的红外聚焦镜片组，位于样品位移台和双波段红外探测之间；样品的红外辐射通过红外光学镜头聚焦到双波段红外探测器上；信号发生器或斩波器对样品信号进行调制；本显微镜系统可以在不同波段上探测半导体器件的热点辐射的幅值和相位信息，给出绝对温度并分析样品中的热扩散行为和热传导，在半导体器件分析中具有重要作用。
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