公开(公告)号：CN108534712A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201810624655.4

申请日：2018-06-16

Applicant: 复旦大学

Inventor： 周庆 ,  王军华 ,  孔令豹 ,  徐敏

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明属于面形检测技术领域，具体为一种柱面面形干涉检测装置。本发明装置包括4D干涉仪、光学扩束准直单元、环形光线转换单元、数据处理单元等；由4D干涉仪出发的平行光线，经过光学扩束准直单元进行扩束后，到达环形光线转换单元；平行光线在环线光束转换单元中通过内外锥面镜转换为360°环形光线；当360°环形光线会聚在待测圆柱体的轴线上时，光线经过待测圆柱体外表面反射后携带着面形信息返回到环形光束转换单元转换成平行光线，平行光线经过光学扩束准直单元返回到4D干涉仪中形成干涉图，实时显示在液晶屏幕中；数据处理单元对干涉图进行处理，得到待测圆柱面的面形数据并显示在液晶屏幕中。本发明装置结构简单紧凑，可以实现对圆柱体外表面的面形精确检测。

公开(公告)号：CN208313239U

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201820935126.1

申请日：2018-06-16

Applicant: 复旦大学

Inventor： 周庆 ,  王军华 ,  孔令豹 ,  徐敏

IPC: G01B11/24

Abstract: 本实用新型属于面形检测技术领域，具体为一种柱面面形干涉检测装置。由4D干涉仪出发的平行光线，经过光学扩束准直单元进行扩束后，到达环形光线转换单元；平行光线在环线光束转换单元中通过内外锥面镜转换为360°环形光线；当360°环形光线会聚在待测圆柱体的轴线上时，光线经过待测圆柱体外表面反射后携带着面形信息返回到环形光束转换单元转换成平行光线，平行光线经过光学扩束准直单元返回到4D干涉仪中形成干涉图，实时显示在液晶屏幕中；数据处理单元对干涉图进行处理，得到待测圆柱面的面形数据并显示在液晶屏幕中。本实用新型装置结构简单紧凑，可以实现对圆柱体外表面的面形精确检测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利