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公开(公告)号：CN100538482C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200610160910.1
申请日：2006-12-01
Applicant: 塔工程有限公司
CPC classification number: H05K3/12 , G03F7/0047 , G03F7/2049 , H05K3/02 , H05K3/1266 , H05K3/227 , H05K2201/0257 , H05K2203/0117 , H05K2203/0517 , H05K2203/105 , Y10S977/72 , Y10S977/777 , Y10S977/787 , Y10S977/858
Abstract: 本发明公开了一种薄膜图案形成装置，包括：室壳体，具有与外界相连通的内部空间；第一固定单元，设置在室壳体中；图案电极板，具有以一定形状突出的突出电极，且固定至第一固定单元；第二固定单元，设置在室壳体中，且与图案电极板隔开一定间隙，用于固定其上沉积有涂墨的金属纳米材料的基板；供电单元，用于向第一固定单元和第二固定单元供应电力，以便在第一固定单元和第二固定单元处形成电极；以及干燥单元，用于干燥在基板上被图案化的涂墨的金属纳米材料。可以在基板上简单地形成诸如栅极线的金属薄膜线，且可以缩短处理时间。此外，简化了所需的设备，从而降低了安装成本，并提高了生产率。
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公开(公告)号：CN100528455C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200580015314.8
申请日：2005-05-11
Applicant: 塔工程有限公司
IPC: B23K26/40
CPC classification number: C03B33/076 , B23K26/04 , B23K26/40 , B23K2103/50 , C03B33/0222
Abstract: 本发明公开了一种非金属基板切割设备及其方法，本发明适用于在切割各种非金属基板(例如：用于制造诸如薄膜晶体管-液晶显示器(TFT-LCD)、等离子显示器(PDP)、有机发光显示器(OLED)等平面显示器的玻璃基板)时，利用通过调整短波激光的聚焦位置控制切割深度的方式，来同时切割上基板和下基板，或者选择性切割上基板或下基板。本发明包括：激光束产生器(10)，用以产生紫外线(UV)短波激光束；激光头(6)，施加短波激光束至要被切割的非金属基板上的特定位置处；焦点移动装置(8)，用以沿着基板的深度方向改变激光束的聚焦位置；以及相对物体移动装置(3，4)，用以允许基板与激光束产生相对移动，以切割基板。
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公开(公告)号：CN1979317A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN200610160910.1
申请日：2006-12-01
Applicant: 塔工程有限公司
CPC classification number: H05K3/12 , G03F7/0047 , G03F7/2049 , H05K3/02 , H05K3/1266 , H05K3/227 , H05K2201/0257 , H05K2203/0117 , H05K2203/0517 , H05K2203/105 , Y10S977/72 , Y10S977/777 , Y10S977/787 , Y10S977/858
Abstract: 本发明公开了一种薄膜图案形成装置，包括：室壳体，具有与外界相连通的内部空间；第一固定单元，设置在室壳体中；图案电极板，具有以一定形状突出的突出电极，且固定至第一固定单元；第二固定单元，设置在室壳体中，且与图案电极板隔开一定间隙，用于固定其上沉积有涂墨的金属纳米材料的基板；供电单元，用于向第一固定单元和第二固定单元供应电力，以便在第一固定单元和第二固定单元处形成电极；以及干燥单元，用于干燥在基板上被图案化的涂墨的金属纳米材料。可以在基板上简单地形成诸如栅极线的金属薄膜线，且可以缩短处理时间。此外，简化了所需的设备，从而降低了安装成本，并提高了生产率。
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公开(公告)号：CN101031383A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200580015314.8
申请日：2005-05-11
Applicant: 塔工程有限公司
IPC: B23K26/40
CPC classification number: C03B33/076 , B23K26/04 , B23K26/40 , B23K2103/50 , C03B33/0222
Abstract: 本发明公开了一种非金属基板切割设备及其方法，本发明适用于在切割各种非金属基板(例如：用于制造诸如薄膜晶体管－液晶显示器(TFT－LCD)、等离子显示器(PDP)、有机发光显示器(OLED)等平面显示器的玻璃基板)时，利用通过调整短波激光的聚焦位置控制切割深度的方式，来同时切割上基板和下基板，或者选择性切割上基板或下基板。本发明包括：激光束产生器(10)，用以产生紫外线(UV)短波激光束；激光头(6)，施加短波激光束至要被切割的非金属基板上的特定位置处；焦点移动装置(8)，用以沿着基板的深度方向改变激光束的聚焦位置；以及相对物体移动装置(3，4)，用以允许基板与激光束产生相对移动，以切割基板。
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