公开(公告)号：CN101164013B

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：CN200680004726.6

申请日：2006-02-22

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： R·D·艾伦 ,  P·J·布罗克 ,  D·吉尔 ,  W·D·欣斯伯格 ,  C·E·拉森 ,  L·K·森德伯格 ,  G·M·沃尔拉夫

IPC: G03C1/00

CPC classification number: G03F7/11 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/2041 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111

Abstract: 公开了在光致抗蚀剂材料上涂施的表面涂料。该表面涂料包含至少一种溶剂和在含水碱性显影剂中具有至少3000A/秒的溶解速率的聚合物。该聚合物含有六氟醇单体单元，该单元包含下列两种结构之一：(I)，其中n是整数。该表面涂料可用在光刻法中，其中将该表面涂料涂施在光致抗蚀剂层上。表面涂料优选不溶于水，因此特别可用在使用水作为成像介质的浸渍光刻技术中。

公开(公告)号：CN101164013A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200680004726.6

申请日：2006-02-22

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： R·D·艾伦 ,  P·J·布罗克 ,  D·吉尔 ,  W·D·欣斯伯格 ,  C·E·拉森 ,  L·K·森德伯格 ,  G·M·沃尔拉夫

IPC: G03C1/00

CPC classification number: G03F7/11 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/2041 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111

Abstract: 公开了在光致抗蚀剂材料上涂施的表面涂料。该表面涂料包含至少一种溶剂和在含水碱性显影剂中具有至少3000/秒的溶解速率的聚合物。该聚合物含有六氟醇单体单元，该单元包含下列两种结构之一：(I)，其中n是整数。该表面涂料可用在光刻法中，其中将该表面涂料涂施在光致抗蚀剂层上。表面涂料优选不溶于水，因此特别可用在使用水作为成像介质的浸渍光刻技术中。