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公开(公告)号:CN114747034B
公开(公告)日:2023-04-18
申请号:CN202080083943.9
申请日:2020-11-20
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H10B63/10
Abstract: 底部电极(110)沉积在衬底(105)的顶部上。介电材料层(115)沉积在底部电极(110)的顶部上。在介电材料层(115)中产生孔。在介电材料层(115)上旋涂并烘烤剥离层(116)。在剥离层(116)上旋涂并烘烤光致抗蚀剂层(117)。执行UV光刻以在介电材料层(115)中的孔上方产生开口。Ag层(120)沉积在剩余的图案化的介电材料层和光致抗蚀剂层(117)的顶部上。在Ag层(120)的顶部上沉积碲锗锑(GST)层(130)。顶部电极(140)沉积在GST层的顶部上(130)。去除Ag层(120)、GST层(130)和位于光致抗蚀剂层(117)顶部上的顶部电极(140)以及光致抗蚀剂层(117)和剥离层(116)。
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公开(公告)号:CN111133623A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201880061824.6
申请日:2018-09-11
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01M10/00
Abstract: 通过形成可再充电电池堆,提供了大容量和高性能可再充电电池,该可再充电电池堆包括剥落材料结构,该剥落材料结构包括具有至少一个纹理化的表面的剥落阴极材料层和具有至少一个纹理化的表面的应力源层。应力源层用作可再充电电池堆的阴极集电器。剥落的阴极材料层的至少一个纹理化的表面在阴极和剥落的阴极材料层上方的电解质之间的电解质之间形成较大的界面区域。阴极和电解质之间的较大界面面积会降低可充电电池堆内的界面电阻。
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公开(公告)号:CN111133623B
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN201880061824.6
申请日:2018-09-11
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01M10/00
Abstract: 通过形成可再充电电池堆,提供了大容量和高性能可再充电电池,该可再充电电池堆包括剥落材料结构,该剥落材料结构包括具有至少一个纹理化的表面的剥落阴极材料层和具有至少一个纹理化的表面的应力源层。应力源层用作可再充电电池堆的阴极集电器。剥落的阴极材料层的至少一个纹理化的表面在阴极和剥落的阴极材料层上方的电解质之间的电解质之间形成较大的界面区域。阴极和电解质之间的较大界面面积会降低可充电电池堆内的界面电阻。
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公开(公告)号:CN114747034A
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN202080083943.9
申请日:2020-11-20
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L45/00
Abstract: 底部电极(110)沉积在衬底(105)的顶部上。介电材料层(115)沉积在底部电极(110)的顶部上。在介电材料层(115)中产生孔。在介电材料层(115)上旋涂并烘烤剥离层(116)。在剥离层(116)上旋涂并烘烤光致抗蚀剂层(117)。执行UV光刻以在介电材料层(115)中的孔上方产生开口。Ag层(120)沉积在剩余的图案化的介电材料层和光致抗蚀剂层(117)的顶部上。在Ag层(120)的顶部上沉积碲锗锑(GST)层(130)。顶部电极(140)沉积在GST层的顶部上(130)。去除Ag层(120)、GST层(130)和位于光致抗蚀剂层(117)顶部上的顶部电极(140)以及光致抗蚀剂层(117)和剥离层(116)。
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