-
公开(公告)号：CN102301465B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201080005862.3
申请日：2010-04-29
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/768 , H01L23/48
CPC classification number: H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/00
Abstract: 提供用于形成贯穿通路的方法和设备，例如，提供一种在包括衬底的半导体晶片的一部分中形成通路的方法。该方法包括：形成围绕衬底的第一部分的沟槽，使得第一部分与衬底的第二部分分离；在第一部分中形成贯穿衬底的孔；以及在孔中形成第一金属。沟槽贯穿衬底延伸。第一金属从衬底的前表面延伸到衬底的后表面。通路(240)包括孔和第一金属。
-
公开(公告)号：CN102687028B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201080048351.X
申请日：2010-07-29
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: B01D71/02
CPC classification number: B01D67/0065 , B01D71/022 , B01D2323/283 , B01D2325/021 , Y10T428/249953
Abstract: 一种过滤器，包括隔膜，该隔膜中形成有多个纳米通道（14）。第一表面电荷材料（18）沉积在纳米通道的端部上。第一表面电荷材料包括表面电荷，以静电影响电解质溶液（20）中的离子，从而当电解质溶液的流体通过纳米通道时，使纳米通道将离子反射回电解质溶液中。还提供制造和使用该过滤器的方法。
-
公开(公告)号：CN102687028A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201080048351.X
申请日：2010-07-29
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: B01D67/0065 , B01D71/022 , B01D2323/283 , B01D2325/021 , Y10T428/249953
Abstract: 一种过滤器，包括隔膜，该隔膜中形成有多个纳米通道（14）。第一表面电荷材料（18）沉积在纳米通道的端部上。第一表面电荷材料包括表面电荷，以静电影响电解质溶液（20）中的离子，从而当电解质溶液的流体通过纳米通道时，使纳米通道将离子反射回电解质溶液中。还提供制造和使用该过滤器的方法。
-
公开(公告)号：CN102301465A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201080005862.3
申请日：2010-04-29
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/768 , H01L23/48
CPC classification number: H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/00
Abstract: 提供用于形成贯穿通路的方法和设备，例如，提供一种在包括衬底的半导体晶片的一部分中形成通路的方法。该方法包括：形成围绕衬底的第一部分的沟槽，使得第一部分与衬底的第二部分分离；在第一部分中形成贯穿衬底的孔；以及在孔中形成第一金属。沟槽贯穿衬底延伸。第一金属从衬底的前表面延伸到衬底的后表面。通路(240)包括孔和第一金属。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.02 seconds)
