公开(公告)号：CN104272451A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380021135.X

申请日：2013-04-25

申请人： 国际商业机器公司

发明人： U·T·迪里格 ,  F·霍尔兹纳 ,  A·W·诺尔 ,  W·H·里斯

IPC分类号： H01L21/768

CPC分类号： C25D13/04 ,  C25D13/02 ,  C25D13/22

摘要： 本发明特别涉及用于在表面上定位纳米对象(20)的装置和方法。该方法包括：提供(S10-S50)包括面对面的第一表面(15)和第二表面(17)的两个表面(15、17)，其中所述两个表面的至少一个表面展现具有在纳米级尺寸的一个或者多个定位结构(16、16a)；以及在所述两个表面之间的所述纳米对象的离子液体悬浮物(30)，所述悬浮物包括两个双电层，每个所述双电层被形成在与所述两个表面的相应表面的界面处，所述两个表面的所述电表面电荷具有相同符号；以及根据由所述两个表面的所述电荷产生的势能(31)使(S60)在所述悬浮物中的纳米对象(20)定位，并且根据所述定位结构通过向所述第一表面偏移所述势能的最小值(32)而在所述第一表面上沉积(S70)所述纳米对象的一个或者多个纳米对象。

公开(公告)号：CN104272451B

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201380021135.X

申请日：2013-04-25

申请人： 国际商业机器公司

发明人： U·T·迪里格 ,  F·霍尔兹纳 ,  A·W·诺尔 ,  W·H·里斯

IPC分类号： H01L21/768

CPC分类号： C25D13/04 ,  C25D13/02 ,  C25D13/22

摘要： 本发明特别涉及用于在表面上定位纳米对象(20)的装置和方法。该方法包括：提供(S10-S50)包括面对面的第一表面(15)和第二表面至少一个表面展现具有在纳米级尺寸的一个或者多个定位结构(16、16a)；以及在所述两个表面之间的所述纳米对象的离子液体悬浮物(30)，所述悬浮物包括两个双电层，每个所述双电层被形成在与所述两个表面的相应表面的界面处，所述两个表面的所述电表面电荷具有相同符号；以及根据由所述两个表面的所述电荷产生的势能(31)使(S60)在所述悬浮物中的纳米对象(20)定位，并且根据所述定位结构通过向所述第一表面偏移所述势能的最小值(32)而在所述第一表面上沉积(S70)所述纳米对象的一个或者多个纳米对象。(17)的两个表面(15、17)，其中所述两个表面的

公开(公告)号：CN102575975B

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201080047075.5

申请日：2010-11-08

申请人： 国际商业机器公司

发明人： U·T·迪瑞格 ,  B·W·戈查曼 ,  A·W·诺尔 ,  M·A·兰茨

IPC分类号： G01N13/00 ,  G01Q70/08

CPC分类号： G01Q60/363 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10

摘要： 本发明涉及一种利用扫描探针显微镜或SPM(10)来扫描材料(50)的表面(52)的方法，SPM具有构造为表现出不同的弹簧行为(C，Ck)的悬臂传感器(100)，该方法包括：-在接触模式下操作SPM，由此在材料表面上扫描该扫描器并且通过由材料表面导致的该传感器的偏转激发该传感器的第一弹簧行为(C)(例如，其屈曲的基本模式)；以及-以悬臂传感器的第二弹簧行为(Ck)的谐振频率利用激发装置激发该传感器的第二弹簧行为(Ck)(例如，一种或多种更高阶谐振模式)，以调节该传感器和材料表面的相互作用并由此减小材料表面的磨损。

公开(公告)号：CN103376646A

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201310125512.6

申请日：2013-04-11

申请人： 国际商业机器公司

发明人： F·霍尔泽 ,  A·W·诺尔

IPC分类号： G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002

摘要： 本发明主要地涉及纳米平板印刷装置和方法。这样的方法包括：提供(S10)：模具(100)，在模具的一侧(101)上包括形貌图案(140)，形貌图案由具有纳米级尺度的结构(130)形成；以及在衬底(220)上的与模具的所述一侧相对的可热分解聚合物膜(210)，诸如聚邻苯，其中该结构被加热至聚合物膜的分解温度(Td)以上；使所述结构与聚合物膜接触(S20)以热分解其与所述结构对应的部分；并且从聚合物膜去除(S50)结构。

公开(公告)号：CN102575975A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080047075.5

申请日：2010-11-08

申请人： 国际商业机器公司

发明人： U·T·迪瑞格 ,  B·W·戈查曼 ,  A·W·诺尔 ,  M·A·兰茨

IPC分类号： G01N13/00 ,  G01Q70/08

CPC分类号： G01Q60/363 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10

摘要： 本发明涉及一种利用扫描探针显微镜或SPM(10)来扫描材料(50)的表面(52)的方法，SPM具有构造为表现出不同的弹簧行为(C，Ck)的悬臂传感器(100)，该方法包括：-在接触模式下操作SPM，由此在材料表面上扫描该扫描器并且通过由材料表面导致的该传感器的偏转激发该传感器的第一弹簧行为(C)(例如，其屈曲的基本模式)；以及-以悬臂传感器的第二弹簧行为(Ck)的谐振频率利用激发装置激发该传感器的第二弹簧行为(Ck)(例如，一种或多种更高阶谐振模式)，以调节该传感器和材料表面的相互作用并由此减小材料表面的磨损。