公开(公告)号：CN102575975B

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201080047075.5

申请日：2010-11-08

申请人： 国际商业机器公司

发明人： U·T·迪瑞格 ,  B·W·戈查曼 ,  A·W·诺尔 ,  M·A·兰茨

IPC分类号： G01N13/00 ,  G01Q70/08

CPC分类号： G01Q60/363 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10

摘要： 本发明涉及一种利用扫描探针显微镜或SPM(10)来扫描材料(50)的表面(52)的方法，SPM具有构造为表现出不同的弹簧行为(C，Ck)的悬臂传感器(100)，该方法包括：-在接触模式下操作SPM，由此在材料表面上扫描该扫描器并且通过由材料表面导致的该传感器的偏转激发该传感器的第一弹簧行为(C)(例如，其屈曲的基本模式)；以及-以悬臂传感器的第二弹簧行为(Ck)的谐振频率利用激发装置激发该传感器的第二弹簧行为(Ck)(例如，一种或多种更高阶谐振模式)，以调节该传感器和材料表面的相互作用并由此减小材料表面的磨损。

公开(公告)号：CN102575975A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080047075.5

申请日：2010-11-08

申请人： 国际商业机器公司

发明人： U·T·迪瑞格 ,  B·W·戈查曼 ,  A·W·诺尔 ,  M·A·兰茨

IPC分类号： G01N13/00 ,  G01Q70/08

CPC分类号： G01Q60/363 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10

摘要： 本发明涉及一种利用扫描探针显微镜或SPM(10)来扫描材料(50)的表面(52)的方法，SPM具有构造为表现出不同的弹簧行为(C，Ck)的悬臂传感器(100)，该方法包括：-在接触模式下操作SPM，由此在材料表面上扫描该扫描器并且通过由材料表面导致的该传感器的偏转激发该传感器的第一弹簧行为(C)(例如，其屈曲的基本模式)；以及-以悬臂传感器的第二弹簧行为(Ck)的谐振频率利用激发装置激发该传感器的第二弹簧行为(Ck)(例如，一种或多种更高阶谐振模式)，以调节该传感器和材料表面的相互作用并由此减小材料表面的磨损。