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公开(公告)号：CN104145217A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201380011075.3
申请日：2013-02-12
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: G03F7/0042
Abstract: 公开了一种具有式(3)结构的组合物：[C']k[Ta(O2)x(L')y](3)，其中，x为1至4的整数，y为1至4的整数，Ta(O2)x(L')y具有0至-3的电荷，C'为具有+1至+3的电荷的反离子，k为0至3的整数，L'为具有0至-4的电荷的氧化稳定有机配体，并且L'包含选自由羧化物、醇化物、胺、氧化胺、膦、氧化膦、氧化胂及其组合构成的组的供电子官能团。该组合物具有作为高分辨率光刻胶的用途。
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