公开(公告)号：CN101154644A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200710153744.7

申请日：2007-09-14

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 保罗·M·哈维 ,  河崎一茂 ,  山田玄

IPC: H01L23/498 ,  H01L21/48 ,  H05K1/02 ,  H05K3/46

CPC classification number: H05K1/116 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/66 ,  H01L2223/6616 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/3011 ,  H05K1/0219 ,  H05K3/4602 ,  H05K2201/0792 ,  H05K2201/09536 ,  H05K2201/096 ,  H05K2201/09718 ,  H05K2201/09781 ,  H05K2201/09809 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种在多层互连基底中对高速信号的电优化和结构保护的微通路孔结构。所述通路孔结构消除了触点与参考平面的重叠由此减小了通路孔电容并且因而减小了在所述通路孔结构中的阻抗失配。结果，电优化了所述通路孔结构。所述通路孔结构还包括一或多个浮置支撑构件，所述浮置支撑构件放置得接近于所述通路孔和参考平面之间的通路孔隔离区内的通路孔附近。所述浮置支撑构件在其既不与所述通路孔也不与参考平面接触的意义上是“浮置”的。因而，提供所述支撑构件不用于信号传播而仅用于结构支撑。所述浮置支撑构件可以通过一或多个微空腔结构相互连接。