公开(公告)号：CN103430297A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201280012193.1

申请日：2012-02-29

申请人： 国际商业机器公司

发明人： 辛永春 ,  欧阳旭 ,  宋云升 ,  丁作辉

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/02 ,  G01B11/00

CPC分类号： H01L21/681 ,  G01B9/02091 ,  H01L23/544 ,  H01L24/75 ,  H01L24/81 ,  H01L24/94 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/8113 ,  H01L2224/81132 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/94 ,  H01L2224/81

摘要： 公开一种用于执行两个晶圆的对准的系统。该系统包括光学相关断层扫描系统和晶圆对准系统。晶圆对准系统配置并且布置为控制第一晶圆和第二晶圆的相对位置。光学相干断层扫描系统配置并且布置为计算第一和第二晶圆上的多个对准标记的坐标数据，并且发送该坐标数据到晶圆对准系统。

公开(公告)号：CN103430297B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201280012193.1

申请日：2012-02-29

申请人： 国际商业机器公司

发明人： 辛永春 ,  欧阳旭 ,  宋云升 ,  丁作辉

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/02 ,  G01B11/00

CPC分类号： H01L21/681 ,  G01B9/02091 ,  H01L23/544 ,  H01L24/75 ,  H01L24/81 ,  H01L24/94 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/8113 ,  H01L2224/81132 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/94 ,  H01L2224/81

摘要： 公开一种用于执行两个晶圆的对准的系统。该系统包括光学相关断层扫描系统和晶圆对准系统。晶圆对准系统配置并且布置为控制第一晶圆和第二晶圆的相对位置。光学相干断层扫描系统配置并且布置为计算第一和第二晶圆上的多个对准标记的坐标数据，并且发送该坐标数据到晶圆对准系统。