一种高灵敏度低噪声磁传感器

    公开(公告)号:CN117572307A

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202311578653.3

    申请日:2023-11-21

    Abstract: 本发明提供了一种高灵敏度低噪声磁传感器,属于仪器仪表领域,包括TMR器件、读出电子学电路和低温制冷器,读出电子学电路用于检测并放大TMR器件输出的微弱信号,TMR器件和读出电子学电路均位于低温制冷器的真空腔体内,且紧贴低温制冷器的冷侧;通过将TMR器件及读出电子学电路设置在低温制冷器的真空腔体内,且紧贴其冷侧,通过对低温制冷器的控制,将真空腔体内温度准确维持在一个既定的温度,一方面提高TMR器件测磁灵敏度,达到或者接近超导量子干涉器件的磁灵敏度,实现微弱磁信号的测量,另一方面读出电子学电路在低温下,电子噪声显著减少,增强了微弱磁场的识别能力,实现对微弱磁场的测量,不需要极低温度,极大地降低了测量系统的复杂度。

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