公开(公告)号：CN107851611A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680045338.6

申请日：2016-08-03

Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所

Inventor： 堀洋平 ,  柳永勋 ,  大内真一 ,  安田哲二 ,  昌原明植 ,  入沢寿史 ,  远藤和彦 ,  太田裕之 ,  前田辰郎 ,  小池帆平 ,  小笠原泰弘 ,  片下敏宏 ,  福田浩一

IPC: H01L21/822 ,  H01L21/82 ,  H01L27/04

CPC classification number: H01L21/82 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04

Abstract: 一种半导体器件(100)，其特征在于，具备前道以及包括多个层的后道A、后道B，在后道B的多个层中的(i)布线间距为100nm以上的至少一层中设置具有安全功能的电路(22、23、24)；(ii)在M5以上(M5、M6、M7、…)的布线层中的至少一层中设置具有安全功能的电路；(iii)在无需使用液浸ArF曝光的至少一层中设置具有安全功能的电路；或者(iv)在使用200nm以上的曝光波长进行曝光的至少一层中设置具有安全功能的电路。

公开(公告)号：CN107851611B

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN201680045338.6

申请日：2016-08-03

Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所

Inventor： 堀洋平 ,  柳永勋 ,  大内真一 ,  安田哲二 ,  昌原明植 ,  入沢寿史 ,  远藤和彦 ,  太田裕之 ,  前田辰郎 ,  小池帆平 ,  小笠原泰弘 ,  片下敏宏 ,  福田浩一

IPC: H01L21/822 ,  H01L21/82 ,  H01L27/04

Abstract: 一种半导体器件(100)，其特征在于，具备前道以及包括多个层的后道A、后道B，在后道B的多个层中的(i)布线间距为100nm以上的至少一层中设置具有安全功能的电路(22、23、24)；(ii)在M5以上(M5、M6、M7、…)的布线层中的至少一层中设置具有安全功能的电路；(iii)在无需使用液浸ArF曝光的至少一层中设置具有安全功能的电路；或者(iv)在使用200nm以上的曝光波长进行曝光的至少一层中设置具有安全功能的电路。

公开(公告)号：CN106576040B

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201580045333.9

申请日：2015-08-20

Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所

Inventor： 堀洋平 ,  古原和邦 ,  片下敏宏 ,  松井俊浩

IPC: H04L9/10 ,  G09C1/00 ,  H04L9/32

Abstract: 提供能控制设备固有信息的错误率的方法和程序。提供的设备固有信息的错误率控制方法具有：步骤S1，将i个(i为任意的自然数)口令向PUF搭载芯片分别输入j次(j为任意的自然数)，将j个响应直接(j’＝j)或者加工为j’个(0＜j’＜j)而与各个输入数据建立对应地预先登录到数据库；步骤S2，向数据库输入i个口令；步骤S3，从数据库读出各自对应的j’个响应，每一输入数据连结j’个响应，将连结后的数据进一步反复连结k’个(0＜k’≤k且k为任意的自然数，在上述i和上述j均为1时，k是2以上的自然数)而每一输入数据得到连结的(j’×k’)个响应，进而关于不同的输入数据也将它们连结而得到(i×j’×k’)个连结的响应，由此生成基准数据；步骤S4，将i个口令每一口令向PUF搭载芯片输入k次，将以得到的k个响应为k’＝k直接或者加工为k’个(0＜k’＜k)而得到的k’个响应按照每一响应反复连结j’次，针对所有的k’将其进一步连结而得到(j’×k’)个连结响应，再针对不同的输入数据将所得到的连结响应连结而得到(i×j’×k’)个连结响应，由此生成合成输出数据；以及步骤S5，判断合成输出数据与基准数据是否一致(具体地，两者的汉明距离是否是阈值以下)，基于步骤S5的判断结果判断合成输出数据的错误率是否是预设的范围内，在判断为错误率不在预设的范围内的情况下，变更i、j、j’、k、k’中的至少之一后重复步骤S1到步骤S5的步骤，直至错误率进入预设的范围内。

公开(公告)号：CN106576040A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580045333.9

申请日：2015-08-20

Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所

Inventor： 堀洋平 ,  古原和邦 ,  片下敏宏 ,  松井俊浩

IPC: H04L9/10 ,  G09C1/00 ,  H04L9/32

Abstract: 提供能控制设备固有信息的错误率的方法和程序。提供的设备固有信息的错误率控制方法具有：步骤S1，将i个(i为任意的自然数)口令向PUF搭载芯片分别输入j次(j为任意的自然数)，将j个响应直接(j’＝j)或者加工为j’个(0＜j’＜j)而与各个输入数据建立对应地预先登录到数据库；步骤S2，向数据库输入i个口令；步骤S3，从数据库读出各自对应的j’个响应，每一输入数据连结j’个响应，将连结后的数据进一步反复连结k’个(0＜k’≤k且k为任意的自然数，在上述i和上述j均为1时，k是2以上的自然数)而每一输入数据得到连结的(j’×k’)个响应，进而关于不同的输入数据也将它们连结而得到(i×j’×k’)个连结的响应，由此生成基准数据；步骤S4，将i个口令每一口令向PUF搭载芯片输入k次，将以得到的k个响应为k’＝k直接或者加工为k’个(0＜k’＜k)而得到的k’个响应按照每一响应反复连结j’次，针对所有的k’将其进一步连结而得到(j’×k’)个连结响应，再针对不同的输入数据将所得到的连结响应连结而得到(i×j’×k’)个连结响应，由此生成合成输出数据；以及步骤S5，判断合成输出数据与基准数据是否一致(具体地，两者的汉明距离是否是阈值以下)，基于步骤S5的判断结果判断合成输出数据的错误率是否是预设的范围内，在判断为错误率不在预设的范围内的情况下，变更i、j、j’、k、k’中的至少之一后重复步骤S1到步骤S5的步骤，直至错误率进入预设的范围内。