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公开(公告)号:CN1647280A
公开(公告)日:2005-07-27
申请号:CN03807618.7
申请日:2003-08-08
Applicant: 因芬尼昂技术股份公司
IPC: H01L27/112 , H01L27/115
CPC classification number: H01L29/66825 , H01L21/28273 , H01L21/28282 , H01L27/115 , H01L27/11556 , H01L29/66833
Abstract: 本发明系有关于一种位线结构,这种位线结构系具有表面位线(DLx)及埋入位线(SLx),其中,埋入位线(SLx)系形成于具有渠沟隔离层(6)之渠沟中,且,系经由渠沟上部区域之覆盖连接层(12)及自对准接头层(13)接触掺杂区域(10)。
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公开(公告)号:CN1750170B
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN200510091725.7
申请日:2005-08-15
Applicant: 因芬尼昂技术股份公司
IPC: G11C11/401 , G11C11/412 , H01L27/105 , H01L21/8239
CPC classification number: G11C16/0416 , H01L27/115 , H01L29/8616
Abstract: 集成存储装置及方法,本案提出一种利用穿隧场效晶体管(TFET)以及埋藏位线的存储装置。该存储装置包括一包含储存单元行以及储存单元列的矩阵,其中,每一个储存单元包含至少一单元晶体管,而该单元晶体管则是依次会包含第一掺杂区域以及第二掺杂区域,其一为一漏极区域,以及另一为一源极区域。再者,该存储装置包括字线,其每一个都连接至一行的储存单元,以及位线,各位线连接至一列的储存单元。此外,该等第一掺杂区域为与该等第二掺杂区域不同的掺杂型态。
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公开(公告)号:CN100350616C
公开(公告)日:2007-11-21
申请号:CN03807618.7
申请日:2003-08-08
Applicant: 因芬尼昂技术股份公司
IPC: H01L27/115 , H01L27/112
CPC classification number: H01L29/66825 , H01L21/28273 , H01L21/28282 , H01L27/115 , H01L27/11556 , H01L29/66833
Abstract: 本发明是有关于一种位线结构,这种位线结构是具有表面位线(DLx)及埋入位线(SLx),其中,埋入位线(SLx)是形成于具有渠沟隔离层(6)的渠沟中,且,是经由渠沟上部区域的覆盖连接层(12)及自对准接头层(13)接触掺杂区域(10)。
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公开(公告)号:CN1750170A
公开(公告)日:2006-03-22
申请号:CN200510091725.7
申请日:2005-08-15
Applicant: 因芬尼昂技术股份公司
IPC: G11C11/401 , G11C11/412 , H01L27/105 , H01L21/8239
CPC classification number: G11C16/0416 , H01L27/115 , H01L29/8616
Abstract: 本案提出一种利用穿隧场效晶体管(TFET)以及埋藏位线的存储装置。该存储装置包括一包含储存单元行以及储存单元列的矩阵,其中,每一个储存单元包含至少一单元晶体管,而该单元晶体管则是依次会包含第一掺杂区域以及第二掺杂区域,其一为一漏极区域,以及另一为一源极区域。再者,该存储装置包括字线,其每一个都连接至一行的储存单元,以及位线,各位线连接至一列的储存单元。此外,该等第一掺杂区域为与该等第二掺杂区域不同的掺杂型态。
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